Vakuumpumpen und Lösungen für die Plasmabehandlungstechnologie
Was ist eine Vakuum-Plasmabehandlung?
Die Plasmabehandlung ist eine vielseitige Technologie, die in verschiedenen Branchen eingesetzt wird, darunter Elektronik, Halbleiterfertigung, Automobilbranche, Medizin usw. Typische Prozessgase sind Sauerstoff, Argon und CF4. Diese Gase werden in einem elektrischen Feld unter Vakuum ionisiert und bilden so ein Plasma, das zum Beschichten, Reinigen, Aktivieren oder Ätzen einer Oberfläche verwendet wird, um die Sauberkeit, Haftung oder Funktionalität der Oberfläche zu verändern.
Das Vakuum spielt bei Plasmabehandlungssystemen eine entscheidende Rolle bei der Erzeugung und Aufrechterhaltung der Plasmabedingungen.
- Effiziente Prozessreaktion: Reaktive Ionen, die unter Vakuum im Plasma erzeugt werden, können effektiver an der Oberfläche diffundieren und dort zum Reinigen, Aktivieren oder Ätzen von Oberflächen eingesetzt werden.
- Gleichmäßige Oberflächenbehandlung: Das Vakuum kann eine verunreinigungsfreie Umgebung sicherstellen, um ein gleichmäßiges Plasma für eine präzise Steuerung der Oberflächenveränderung zu gewährleisten.
So stellen Plasmabehandlungen Ihr Vakuumsystem vor Herausforderungen
Die größte Herausforderung für Vakuumpumpen oder Pumpensysteme besteht darin, dass aktivierte Ionen (z. B. Sauerstoff- oder Fluorionen) während des Prozesses evakuiert werden und in die Pumpe gelangen können. Diese Ionen sind hochgradig reaktiv und toxisch für Umwelt und Gesundheit.
Sauerstoff- und Fluorionen können erhebliche Auswirkungen auf die Pumpenmaterialien haben. Öle und Dichtungen können oxidiert, zersetzt oder abgebaut werden. Die richtige Auswahl von Öl- und Dichtungsmaterialien ist daher für eine erfolgreiche Verwendung der Pumpe von entscheidender Bedeutung.
Welcher Pumpentyp eignet sich für die Vakuum-Plasmabehandlung?
Es können verschiedene Arten von Vakuumpumpen verwendet werden. Nur die richtige Wahl der Vakuumpumpen und -systeme gewährleistet, dass die verschiedenen Ausgasungen der Plasmabehandlungstechnologie bewältigt werden und ein störungsfreier Betrieb mit höchster Verfügbarkeit zur Optimierung Ihrer Betriebskosten gewährleistet ist.
Leybold verfügt über eine umfangreiche Erfahrung, und unsere Produkte haben sich in verschiedenen Plasmabehandlungsprozessen bewährt. Leybold hat für jeden Plasmabehandlungsprozess die optimale Vakuumlösung im Angebot, die die Anforderungen des Kunden erfüllt.
Entdecken Sie unten unsere Produkte für die Plasmabehandlung, oder wenden Sie sich an uns, um Ihr Projekt zu besprechen.
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
Ölgedichtete zweistufige Schieberpumpen bieten eine hohe Vakuumleistung durch einen niedrigen Enddruck. Die BCS-PFPE-Ausführung ist hervorragend für hochreaktive Plasmaanwendungen geeignet.
RUVAC
RUVAC
Drei verschiedene Baureihen WA(U), WS(U) und WH(U) und ein großes Saugvermögen von 251 bis 9800 m³/h. Der optionale Betrieb mit Frequenzwandler ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung. Die Ausführungen WS(U)-PFPE und WH-PFPE sind für hochreaktive Plasmaanwendungen verfügbar.
VARODRY
VARODRY
Vollständig ölfreie, luftgekühlte trockenverdichtende Schraubenpumpe mit Saugvermögen von 65 bis 200 m³/h zur Optimierung Ihrer Betriebskosten. Die Ausführung VARODRY HD O2 ist perfekt für die O2-Plasmabehandlung geeignet.
DURADRY
DURADRY
Wassergekühlte trockenverdichtende Schraubenpumpen mit einem Saugvermögen von 160 oder 250 m³/h. Erstklassiger Geräuschpegel, kompakte Konstruktion und hermetische Abdichtung. Die stabile Wärmeregelung ermöglicht eine ausgezeichnete Handhabung von Argon und Leichtgas. Höchste Robustheit für nahezu alle Plasmabehandlungsprozesse.
DRYVAC
DRYVAC
Kompakte, hermetisch abgedichtete und bewährte Konstruktion in Kombination mit höchster Robustheit und Energieeffizienz. Bietet zuverlässige Leistung und längere Betriebszeit für Plasmabehandlungsprozesse, Saugvermögen von 200 bis 800 m³/h.
TRIVAC B
Ölgedichtete zweistufige Schieberpumpen bieten eine hohe Vakuumleistung durch einen niedrigen Enddruck. Die BCS-PFPE-Ausführung ist hervorragend für hochreaktive Plasmaanwendungen geeignet.
RUVAC
Drei verschiedene Baureihen WA(U), WS(U) und WH(U) und ein großes Saugvermögen von 251 bis 9800 m³/h. Der optionale Betrieb mit Frequenzwandler ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung. Die Ausführungen WS(U)-PFPE und WH-PFPE sind für hochreaktive Plasmaanwendungen verfügbar.
VARODRY
Vollständig ölfreie, luftgekühlte trockenverdichtende Schraubenpumpe mit Saugvermögen von 65 bis 200 m³/h zur Optimierung Ihrer Betriebskosten. Die Ausführung VARODRY HD O2 ist perfekt für die O2-Plasmabehandlung geeignet.
DURADRY
Wassergekühlte trockenverdichtende Schraubenpumpen mit einem Saugvermögen von 160 oder 250 m³/h. Erstklassiger Geräuschpegel, kompakte Konstruktion und hermetische Abdichtung. Die stabile Wärmeregelung ermöglicht eine ausgezeichnete Handhabung von Argon und Leichtgas. Höchste Robustheit für nahezu alle Plasmabehandlungsprozesse.
DRYVAC
Kompakte, hermetisch abgedichtete und bewährte Konstruktion in Kombination mit höchster Robustheit und Energieeffizienz. Bietet zuverlässige Leistung und längere Betriebszeit für Plasmabehandlungsprozesse, Saugvermögen von 200 bis 800 m³/h.
- Verwandte Anwendungen
- Zugehörige Produkte
Verwandte Anwendungen
Zugehörige Produkte
