RUVAC WS/WSU

Wälzkolbenpumpen mit luftgekühltem, hermetischem Spaltrohrmotor

Die Wälzkolbenpumpe Leybold RUVAC WS wird von einem luft- oder wassergekühlten Spaltrohrmotor angetrieben. Die verfügbaren Frequenzwandler sind auf die Pumpe abgestimmt, so dass eine mechanische Überlastung ausgeschlossen ist. Bei einer zu hohen Druckdifferenz wird die Drehzahl der Pumpe passend zur Last automatisch reduziert. Die Wälzkolben-Vakuumpumpen der Baureihe RUVAC WSU sind mit einer zusätzlichen integrierten Druckausgleichsleitung und einem Differenzdruckventil ausgestattet. Pumpen dieser Baureihe werden standardmäßig mit einer vertikalen Pumpwirkung geliefert.

Zwei luftgekühlte Baureihen, WS/WSU, mit jeweils vier Pumpengrößen

Hochgradig leckdichte, luftgekühlte Pumpen, die von einem luftgekühlten Spaltrohrmotor angetrieben werden

Mit Mineralöl geschmiert (alternativ mit LVO 400)

Übertemperaturschalter in der Statorspule des Motors

Alle Elastomerdichtungen aus FPM (FKM)/Viton

Integrierte Druckausgleichsleitung mit Differenzdruckventil verhindert Überlastung bei WSU-Modell (optional)

Mit einem Frequenzwandler können die Pumpen RUVAC WS 251 bis 2001 mit 20 bis 100 Hz betrieben werden

Keine Wellendurchführung in die Atmosphäre, daher besonders leckdicht

Die Umstellung von vertikaler auf horizontale Pumpbewegung kann von Kundenseite erfolgen

Mitgelieferte Ausrüstung

Die erforderliche Ölmenge wird separat mit der Pumpe geliefert (Ausnahmen davon sind angegeben).
Wenn kein anderer Öltyp angegeben ist, wird standardmäßig Mineralöl LVO 100 verwendet
Zum Korrosionsschutz mit Stickstoff gespült
Dichtung im Einlassflansch mit integriertem Schmutzsieb

Die Wälzkolben-Vakuumpumpen der Baureihe WAU/WSU/WHU sind mit einer zusätzlichen integrierten Druckausgleichsleitung und einem Differenzdruckventil ausgestattet.

Einsatzbereiche
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Einsatzbereiche

Für Anwendungen, die ein hohes Saugvermögen bei Drücken zwischen 10-2 und 10-4 mbar (0,75 x 10-2 und 0,75 x 10-4 Torr) erfordern
Wird verwendet, wenn die Möglichkeit einer Kontamination durch Lufteintritt oder das Austreten von Fördermedien vermieden werden muss
Saugen oder Pumpen von hochreinen Gasen
Wird in Reinräumen verwendet, in denen die Luft nicht vom Motorlüfter umgewälzt werden darf

Die Wälzkolbenpumpe RUVAC gehört zur Standardausrüstung in der architektonischen Glasbeschichtungsindustrie. In Kombination mit etablierten ölgedichteten SOGEVAC-Pumpen erreichen sie die kürzeste Abpumpzeit an den Schleusenkammern. In Kombination mit den trockenlaufenden Pumpen DRYVAC und SCREWLINE gewährleisten sie ein trockenes, zuverlässiges und problemloses Vakuum in den Prozesskammern.

Die Wälzkolbenpumpe RUVAC wird in vielen Anwendungen eingesetzt, um möglichst kurze Zykluszeiten zu erreichen, wo eine schnelle Evakuierung wichtig ist, z. B. bei der Unterstützung von Schleusenkammern oder bei der Hochgeschwindigkeits-Lebensmittelverpackung.

Die Wälzkolbenpumpe RUVAC erreicht beim Evakuieren von Lampen und Isolierflächen vor dem Aufdampfen schnell einen Druck von unter 10-3 mbar.

Die RUVAC wird auch für das Monokristall-Ziehen von Siliziumkristallen, die zur Herstellung des Grundmaterials für Halbleiter und Solarzellen erforderlich sind, verwendet. Wir freuen uns, Ihnen unseren umfassenden Produkt- und Anwendungssupport und unser umfangreiches Know-how anbieten zu können.

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Wälzkolbenpumpe RUVAC WS/WSU

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Für Anwendungen, die ein hohes Saugvermögen bei Drücken zwischen 10-2 und 10-4 mbar (0,75 x 10-2 und 0,75 x 10-4 Torr) erfordern
Wird verwendet, wenn die Möglichkeit einer Kontamination durch Lufteintritt oder das Austreten von Fördermedien vermieden werden muss
Saugen oder Pumpen von hochreinen Gasen
Wird in Reinräumen verwendet, in denen die Luft nicht vom Motorlüfter umgewälzt werden darf

Die Wälzkolbenpumpe RUVAC erreicht beim Evakuieren von Lampen und Isolierflächen vor dem Aufdampfen schnell einen Druck von unter 10-3 mbar.