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Gasanalyse und Massenspektrometrie

Sie erfahren, warum die Gasanalyse für die Vakuumtechnik von entscheidender Bedeutung ist und wie ein Massenspektrometer funktioniert. Sie lernen das Prinzip der Druckumwandlung und andere wichtige Spezifikationen beim Betrieb von Massenspektrometern kennen. Dieser Abschnitt behandelt auch Partialdruckmessungen und die Grundlagen der Ionisierung.

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Grundlagen der Vakuumtechnik 

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Referenzen

Vakuumsymbole

Vakuumsymbole

Eine Übersicht der Symbole, die in der Vakuumtechnik häufig für Diagramme mit Pumpentypen und Pumpensystemkomponenten verwendet werden

WEITERE INFORMATIONEN

Glossar der Einheiten

Glossar der Einheiten

Eine Übersicht der Maßeinheiten in der Vakuumtechnik, die Bedeutung der Symbole und die modernen Pendants historischer Maßeinheiten

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Verweise und Quellen

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Verweise, Quellen und weiterführende Literatur zu den Grundlagen der Vakuumtechnik

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Verweise und Quellen

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