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Sistemas de recubrimiento compactos UNIVEX Definidos en función del tamaño de la cámara
Nuestros sistemas de recubrimiento compactos permiten el acceso directo a la cámara de proceso.
Diseño modular del sistema
Cámara de vacío multiusos
Acceso muy sencillo a todos los equipos instalados
Diversas técnicas de deposición en la misma cámara
Compatible con salas blancas
- UNIVEX 250
- UNIVEX 400
- UNIVEX 600
- UNIVEX 900
UNIVEX 250
Su puerta de acceso a procesos de recubrimiento perfectos, diseñados específicamente para universidades, laboratorios, institutos técnicos e instalaciones industriales de I+D de todo el mundo.
UNIVEX 250 ofrece una solución rentable que no afecta a la calidad ni al rendimiento, lo que le garantiza unos resultados precisos y uniformes. Gracias a sus controles intuitivos y a su uso sencillo, es perfecto para usuarios con distintos niveles de experiencia.
UNIVEX 250 satisface distintas necesidades de recubrimiento, desde la metalización por contacto hasta la obtención de imágenes por contraste para aplicaciones de microscopía y películas finas.
Su diseño robusto y su rendimiento fiable lo convierten en una herramienta esencial para cualquier entorno científico o industrial, ya que ofrece un acceso práctico, extensibilidad modular y capacidades móviles para lograr la máxima flexibilidad.
Aplicaciones habituales:
- Metalización por contacto (evaporación de oro, plata, cromo, níquel, titanio, etc.)
- Imagen por contraste para microscopía (indio, carbono, etc.)
- Películas finas para aplicaciones solares
- Fines educativos en institutos y universidades
Configuraciones:
- Evaporación térmica
- Evaporación mediante cañón de electrones
- Pulverización catódica
Tamaño de la cámara
- Tamaño de la cámara
- Tamaños totales
- Evaporador térmico
- Evaporador de compuestos orgánicos
- Evaporación mediante cañón de electrones
- Pulverización catódica
- Codeposición
- Control del sistema
- Sensor de grosor de la película
- Compatible con carga y descarga
- Cámara de agua templada
- Nivel de vacío
- Compatible con salas blancas
| UNIVEX 250 | Anchura: 270 mm, profundidad: 370 mm, altura: 400 mm |
| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| Tamaño de la cámara | Anchura: 270 mm, profundidad: 370 mm, altura: 400 mm |
| Tamaños totales | Anchura: 1300 mm, profundidad: 860 mm, altura: 1990 mm |
| Evaporador térmico | Hasta 4 materiales |
| Evaporador de compuestos orgánicos | Hasta 4 materiales |
| Evaporación mediante cañón de electrones | Multihueco o un solo hueco |
| Pulverización catódica | Arriba o abajo: 2 x 2" |
| Codeposición | Evaporación o pulverización catódica |
| Control del sistema | PLC con monitor |
| Sensor de grosor de la película | Cristal de cuarzo |
| Compatible con carga y descarga | Opcional |
| Cámara de agua templada | Opcional |
| Nivel de vacío | Medio 10-7 mbar |
| Compatible con salas blancas | Sí |
UNIVEX 400
UNIVEX 400 es un sistema de recubrimiento compacto para trabajos de laboratorio y procesos de producción piloto. Las dimensiones de su cámara lo hacen idóneo para recubrir sustratos de tamaño reducido a mediano.
Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 350 mm de diámetro total.
El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos.
Aplicaciones habituales
- Películas finas para aplicaciones solares: procesos de CdTe, CIGS y CZTS con sputter
- Electrónica orgánica (PV, OLED)
- Recubrimientos ópticos
- Microelectrónica
Configuraciones habituales
- Cañón de electrones multi-pocket con evaporador térmico y fuente iónica
- Hasta dos pistolas de sputtering de 2" en configuración confocal y sputter up o down
- Evaporadores orgánicos y de cañón de electrones para la producción de perovskita inorgánico-orgánica
Tamaño de la cámara
- Tamaño de la cámara
- Evaporador térmico
- Evaporador de compuestos orgánicos
- Evaporación mediante cañón de electrones
- Pulverización catódica
- Codeposición
- Compatible con carga y descarga
- Deposición asistida por iones
- Cámara de agua templada
- Nivel de vacío
- Versión UHV
- Compatible con salas blancas
| UNIVEX 400 | Anchura: 420 mm, profundidad: 480 mm, altura: 550 mm |
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 420 mm, profundidad: 480 mm, altura: 550 mm |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 8 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco |
Pulverización catódica |
Arriba o abajo: 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" u otras |
Codeposición |
Evaporación o pulverización catódica |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Cámara de agua templada |
Sí |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Versión UHV |
Opcional |
Compatible con salas blancas |
Sí |
UNIVEX 600
UNIVEX 600 es un sistema de recubrimiento compacto para trabajos de laboratorio y procesos de producción piloto. Las dimensiones de su cámara lo hacen idóneo para sustratos de tamaño mediano a grande.
El rendimiento alcanzable del sustrato satisface las necesidades generales de tandas de producción en serie reducidas. Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 550 mm de diámetro total.
El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos.
Aplicaciones habituales
- Recubrimientos ópticos
- Dispositivos optoelectrónicos
- RAM resistiva
- Superconductores de alta temperatura
Configuraciones habituales
- Calentadores o refrigeradores de sustrato
- Cañón de electrones multi-pocket con evaporador térmico y fuente iónica
- Configuraciones de sustrato en paleta, abovedado o planetario para una o varias muestras
- Múltiples magnetrones en configuración confocal o cara a cara
Tamaño de la cámara
- Tamaño de la cámara
- Evaporador térmico
- Evaporador de compuestos orgánicos
- Evaporación mediante cañón de electrones
- Pulverización catódica
- Codeposición
- Compatible con carga y descarga
- Deposición asistida por iones
- Cámara de agua templada
- Nivel de vacío
- Versión UHV
- Compatible con salas blancas
| UNIVEX 600 | Anchura: 600 mm, profundidad: 600 mm, altura: 800 mm o 550 mm (pulverizador) |
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 600 mm, profundidad: 600 mm, altura: 800 mm o 550 mm (pulverizador) |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 8 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco, funcionamiento con varias pistolas |
Pulverización catódica |
Arriba o abajo: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" u otras |
Codeposición |
Evaporación o pulverización catódica |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Cámara de agua templada |
Sí |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Versión UHV |
Opcional |
Compatible con salas blancas |
Sí |
UNIVEX 900
UNIVEX 900 es la solución más sofisticada para sustratos entre intermedios y grandes, y permite obtener mayores rendimientos de sustrato. Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 800 mm de diámetro total. El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos.
Aplicaciones habituales
- Recubrimientos ópticos
- Dispositivos optoelectrónicos
- RAM resistiva
- Superconductores de alta temperatura
Configuraciones habituales
- Calentadores o refrigeradores de sustrato
- Cañón de electrones multi-pocket con fuentes iónicas para la limpieza previa de sustrato y la deposición asistida mediante iones
- Configuraciones de sustrato en paleta, abovedado o planetario para una o varias muestras
- Múltiples magnetrones en configuración confocal o cara a cara
Tamaño de la cámara
- Tamaño de la cámara
- Evaporador térmico
- Evaporador de compuestos orgánicos
- Evaporación mediante cañón de electrones
- Pulverización catódica
- Codeposición
- Compatible con carga y descarga
- Deposición asistida por iones
- Cámara de agua templada
- Nivel de vacío
- Versión UHV
- Compatible con salas blancas
| UNIVEX 900 | Anchura: 900 mm, profundidad: 900 mm, altura: 1100 mm |
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 900 mm, profundidad: 900 mm, altura: 1100 mm |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 8 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco, funcionamiento con varias pistolas |
Pulverización catódica |
Opcional |
Codeposición |
Sí |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Cámara de agua templada |
Sí |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Versión UHV |
Opcional |
Compatible con salas blancas |
Sí |
UNIVEX 250
Su puerta de acceso a procesos de recubrimiento perfectos, diseñados específicamente para universidades, laboratorios, institutos técnicos e instalaciones industriales de I+D de todo el mundo.
UNIVEX 250 ofrece una solución rentable que no afecta a la calidad ni al rendimiento, lo que le garantiza unos resultados precisos y uniformes. Gracias a sus controles intuitivos y a su uso sencillo, es perfecto para usuarios con distintos niveles de experiencia.
UNIVEX 250 satisface distintas necesidades de recubrimiento, desde la metalización por contacto hasta la obtención de imágenes por contraste para aplicaciones de microscopía y películas finas.
Su diseño robusto y su rendimiento fiable lo convierten en una herramienta esencial para cualquier entorno científico o industrial, ya que ofrece un acceso práctico, extensibilidad modular y capacidades móviles para lograr la máxima flexibilidad.
Aplicaciones habituales:
- Metalización por contacto (evaporación de oro, plata, cromo, níquel, titanio, etc.)
- Imagen por contraste para microscopía (indio, carbono, etc.)
- Películas finas para aplicaciones solares
- Fines educativos en institutos y universidades
Configuraciones:
- Evaporación térmica
- Evaporación mediante cañón de electrones
- Pulverización catódica
Tamaño de la cámara
- Tamaño de la cámara
- Tamaños totales
- Evaporador térmico
- Evaporador de compuestos orgánicos
- Evaporación mediante cañón de electrones
- Pulverización catódica
- Codeposición
- Control del sistema
- Sensor de grosor de la película
- Compatible con carga y descarga
- Cámara de agua templada
- Nivel de vacío
- Compatible con salas blancas
| UNIVEX 250 | Anchura: 270 mm, profundidad: 370 mm, altura: 400 mm |
| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| Tamaño de la cámara | Anchura: 270 mm, profundidad: 370 mm, altura: 400 mm |
| Tamaños totales | Anchura: 1300 mm, profundidad: 860 mm, altura: 1990 mm |
| Evaporador térmico | Hasta 4 materiales |
| Evaporador de compuestos orgánicos | Hasta 4 materiales |
| Evaporación mediante cañón de electrones | Multihueco o un solo hueco |
| Pulverización catódica | Arriba o abajo: 2 x 2" |
| Codeposición | Evaporación o pulverización catódica |
| Control del sistema | PLC con monitor |
| Sensor de grosor de la película | Cristal de cuarzo |
| Compatible con carga y descarga | Opcional |
| Cámara de agua templada | Opcional |
| Nivel de vacío | Medio 10-7 mbar |
| Compatible con salas blancas | Sí |
UNIVEX 400
UNIVEX 400 es un sistema de recubrimiento compacto para trabajos de laboratorio y procesos de producción piloto. Las dimensiones de su cámara lo hacen idóneo para recubrir sustratos de tamaño reducido a mediano.
Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 350 mm de diámetro total.
El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos.
Aplicaciones habituales
- Películas finas para aplicaciones solares: procesos de CdTe, CIGS y CZTS con sputter
- Electrónica orgánica (PV, OLED)
- Recubrimientos ópticos
- Microelectrónica
Configuraciones habituales
- Cañón de electrones multi-pocket con evaporador térmico y fuente iónica
- Hasta dos pistolas de sputtering de 2" en configuración confocal y sputter up o down
- Evaporadores orgánicos y de cañón de electrones para la producción de perovskita inorgánico-orgánica
Tamaño de la cámara
- Tamaño de la cámara
- Evaporador térmico
- Evaporador de compuestos orgánicos
- Evaporación mediante cañón de electrones
- Pulverización catódica
- Codeposición
- Compatible con carga y descarga
- Deposición asistida por iones
- Cámara de agua templada
- Nivel de vacío
- Versión UHV
- Compatible con salas blancas
| UNIVEX 400 | Anchura: 420 mm, profundidad: 480 mm, altura: 550 mm |
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 420 mm, profundidad: 480 mm, altura: 550 mm |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 8 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco |
Pulverización catódica |
Arriba o abajo: 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" u otras |
Codeposición |
Evaporación o pulverización catódica |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Cámara de agua templada |
Sí |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Versión UHV |
Opcional |
Compatible con salas blancas |
Sí |
UNIVEX 600
UNIVEX 600 es un sistema de recubrimiento compacto para trabajos de laboratorio y procesos de producción piloto. Las dimensiones de su cámara lo hacen idóneo para sustratos de tamaño mediano a grande.
El rendimiento alcanzable del sustrato satisface las necesidades generales de tandas de producción en serie reducidas. Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 550 mm de diámetro total.
El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos.
Aplicaciones habituales
- Recubrimientos ópticos
- Dispositivos optoelectrónicos
- RAM resistiva
- Superconductores de alta temperatura
Configuraciones habituales
- Calentadores o refrigeradores de sustrato
- Cañón de electrones multi-pocket con evaporador térmico y fuente iónica
- Configuraciones de sustrato en paleta, abovedado o planetario para una o varias muestras
- Múltiples magnetrones en configuración confocal o cara a cara
Tamaño de la cámara
- Tamaño de la cámara
- Evaporador térmico
- Evaporador de compuestos orgánicos
- Evaporación mediante cañón de electrones
- Pulverización catódica
- Codeposición
- Compatible con carga y descarga
- Deposición asistida por iones
- Cámara de agua templada
- Nivel de vacío
- Versión UHV
- Compatible con salas blancas
| UNIVEX 600 | Anchura: 600 mm, profundidad: 600 mm, altura: 800 mm o 550 mm (pulverizador) |
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 600 mm, profundidad: 600 mm, altura: 800 mm o 550 mm (pulverizador) |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 8 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco, funcionamiento con varias pistolas |
Pulverización catódica |
Arriba o abajo: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" u otras |
Codeposición |
Evaporación o pulverización catódica |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Cámara de agua templada |
Sí |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Versión UHV |
Opcional |
Compatible con salas blancas |
Sí |
UNIVEX 900
UNIVEX 900 es la solución más sofisticada para sustratos entre intermedios y grandes, y permite obtener mayores rendimientos de sustrato. Permite recubrir sustratos y soportes de hasta 800 mm de diámetro total. El controlador del sistema le permite aplicar procesos de recubrimiento manuales, semiautomáticos y totalmente automáticos.
Aplicaciones habituales
- Recubrimientos ópticos
- Dispositivos optoelectrónicos
- RAM resistiva
- Superconductores de alta temperatura
Configuraciones habituales
- Calentadores o refrigeradores de sustrato
- Cañón de electrones multi-pocket con fuentes iónicas para la limpieza previa de sustrato y la deposición asistida mediante iones
- Configuraciones de sustrato en paleta, abovedado o planetario para una o varias muestras
- Múltiples magnetrones en configuración confocal o cara a cara
Tamaño de la cámara
- Tamaño de la cámara
- Evaporador térmico
- Evaporador de compuestos orgánicos
- Evaporación mediante cañón de electrones
- Pulverización catódica
- Codeposición
- Compatible con carga y descarga
- Deposición asistida por iones
- Cámara de agua templada
- Nivel de vacío
- Versión UHV
- Compatible con salas blancas
| UNIVEX 900 | Anchura: 900 mm, profundidad: 900 mm, altura: 1100 mm |
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Tamaño de la cámara |
Anchura: 900 mm, profundidad: 900 mm, altura: 1100 mm |
Evaporador térmico |
Hasta 8 materiales |
Evaporador de compuestos orgánicos |
Hasta 8 materiales |
Evaporación mediante cañón de electrones |
Multihueco o un solo hueco, funcionamiento con varias pistolas |
Pulverización catódica |
Opcional |
Codeposición |
Sí |
Compatible con carga y descarga |
Opcional |
Deposición asistida por iones |
Opcional |
Cámara de agua templada |
Sí |
Nivel de vacío |
Medio 10-7 mbar |
Versión UHV |
Opcional |
Compatible con salas blancas |
Sí |
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