Bombas de vácuo e soluções para tecnologia de tratamento de plasma
O que é tratamento de plasma a vácuo?
O tratamento de plasma é uma tecnologia versátil amplamente utilizada em várias indústrias, incluindo eletrônica, fabricação de semicondutores, automotiva, médica etc. Os gases típicos do processo são o oxigênio, argônio ou CF4. Esses gases são ionizados com um campo elétrico sob vácuo para formar um plasma que é usado para revestir, limpar, ativar ou gravar uma superfície para modificar a limpeza, a adesão ou a funcionalidade da superfície.
O vácuo desempenha um papel crucial nos sistemas de tratamento de plasma para criar e manter as condições de plasma de forma eficaz.
- Reação eficiente do processo: os íons reativos gerados no plasma sob vácuo podem se difundir na superfície de forma mais eficaz para processos de modificação, limpeza, ativação ou gravação da superfície.
- Tratamento uniforme da superfície: o vácuo pode garantir um ambiente isento de contaminantes para proteger um plasma uniforme para um controle preciso da modificação da superfície.
Como o tratamento de plasma desafia seu sistema de vácuo
O principal desafio para as bombas de vácuo ou sistemas de bombeamento é que os íons ativados (por exemplo, íons de oxigênio ou íons de flúor) são evacuados durante o processo e podem entrar na bomba. Esses íons são altamente reativos e tóxicos ao meio ambiente e à saúde humana.
Os íons de oxigênio e íons de flúor podem ter um impacto significativo nos materiais das bombas. Os óleos e vedações podem ser oxidados, decompostos ou degradados. A seleção correta do óleo e dos materiais de vedação é, portanto, crucial para uma utilização bem-sucedida da bomba.
Que tipo de bomba é adequado para o tratamento de plasma a vácuo?
Podem ser utilizados diferentes tipos de bombas de vácuo. Somente a escolha certa de bombas e sistemas de vácuo garante o tratamento das diferentes liberações de gases de tecnologia de tratamento de plasma e um funcionamento sem problemas com o maior tempo de atividade para otimizar o seu custo de propriedade.
A Leybold tem ampla experiência e os nossos produtos estão bem comprovados em diferentes processos de tratamento de plasma. Para cada processo de tratamento de plasma, a Leybold pode oferecer uma solução de vácuo perfeita para as necessidades do cliente.
Descubra nossos produtos para tratamento de plasma abaixo ou entre em contato conosco para discutir seu projeto.
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
As bombas de palheta de estágio duplo com lubrificadas a óleo se destacam por um elevado desempenho em termos de vácuo, proporcionando uma baixa pressão final. A versão BCS-PFPE se destaca para aplicações de plasma altamente reativas.
RUVAC
RUVAC
Três séries diferentes WA(U), WS(U) e WH(U) e uma ampla gama de velocidades de bombeamento de 251 a 9800 m³/h. A operação opcional com inversor de frequência permite um controle preciso do processo. Estão disponíveis as versões WS(U)-PFPE e WH-PFPE para aplicações de plasma altamente reativas
VARODRY
VARODRY
Bomba de parafuso a seco completamente isenta de óleo e resfriada a ar com velocidades de sucção de 65 a 200 m³/h, o que ajuda a otimizar o custo de propriedade. A versão VARODRY HD O2 é perfeita para o tratamento de plasma de O2.
DURADRY
DURADRY
Bombas de parafuso a seco resfriadas a água com velocidade de bombeamento de 160 ou 250 m³/h. O melhor nível de ruído da categoria, design compacto e hermeticamente fechado. O gerenciamento de calor estável permite excelente manuseio de argônio e gases leves. A mais alta robustez para suportar quase todos os processos de tratamento de plasma.
DRYVAC
DRYVAC
Projeto compacto, hermeticamente selado e comprovado, combinado com a mais alta robustez e eficiência energética. Oferece desempenho confiável e maior tempo de atividade para processos de tratamento de plasma, velocidades de sucção de 200 a 800 m³/h.
TRIVAC B
As bombas de palheta de estágio duplo com lubrificadas a óleo se destacam por um elevado desempenho em termos de vácuo, proporcionando uma baixa pressão final. A versão BCS-PFPE se destaca para aplicações de plasma altamente reativas.
RUVAC
Três séries diferentes WA(U), WS(U) e WH(U) e uma ampla gama de velocidades de bombeamento de 251 a 9800 m³/h. A operação opcional com inversor de frequência permite um controle preciso do processo. Estão disponíveis as versões WS(U)-PFPE e WH-PFPE para aplicações de plasma altamente reativas
VARODRY
Bomba de parafuso a seco completamente isenta de óleo e resfriada a ar com velocidades de sucção de 65 a 200 m³/h, o que ajuda a otimizar o custo de propriedade. A versão VARODRY HD O2 é perfeita para o tratamento de plasma de O2.
DURADRY
Bombas de parafuso a seco resfriadas a água com velocidade de bombeamento de 160 ou 250 m³/h. O melhor nível de ruído da categoria, design compacto e hermeticamente fechado. O gerenciamento de calor estável permite excelente manuseio de argônio e gases leves. A mais alta robustez para suportar quase todos os processos de tratamento de plasma.
DRYVAC
Projeto compacto, hermeticamente selado e comprovado, combinado com a mais alta robustez e eficiência energética. Oferece desempenho confiável e maior tempo de atividade para processos de tratamento de plasma, velocidades de sucção de 200 a 800 m³/h.
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