Pompes à vide et solutions pour la technologie de traitement au plasma
Qu'est-ce que le traitement au plasma sous vide ?
Le traitement au plasma est une technologie polyvalente largement utilisée dans diverses industries telles que l'électronique, la fabrication de semi-conducteurs, l'automobile, le médical, etc. Les gaz de procédé typiques sont l'oxygène, l'argon ou le CF4. Ces gaz sont ionisés avec un champ électrique sous vide afin de former un plasma qui est utilisé pour recouvrir, nettoyer, activer ou graver une surface afin d'assurer sa propreté ou de modifier son adhérence et sa fonction.
Le vide joue un rôle crucial dans les systèmes de traitement au plasma pour créer et maintenir efficacement les conditions plasmatiques.
- Réaction de procédé efficace : les ions réactifs générés dans le plasma sous vide se dispersent plus efficacement vers la surface dans les procédés de modification de surface, de nettoyage, d'activation ou de gravure.
- Traitement de surface uniforme : le vide peut garantir un environnement sans contaminant pour protéger un plasma uniforme et contrôler précisément les modifications de surface.
Quels sont les défis de la technologie de traitement au plasma pour votre système de vide
Le principal défi pour les pompes à vide ou les systèmes de pompage est que les ions activés (par exemple, les ions oxygène ou les ions fluor) évacués pendant le procédé peuvent pénétrer dans la pompe. Ces ions sont extrêmement réactifs et toxiques pour l'environnement et la santé humaine.
Les ions oxygène et les ions fluor peuvent avoir un impact significatif sur les matériaux des pompes. Ils peuvent oxyder, décomposer ou dégrader les huiles et les joints. La sélection appropriée de l'huile et des matériaux d'étanchéité est donc cruciale pour un bon fonctionnement des pompes.
Quel type de pompe convient au traitement au plasma sous vide ?
Différents types de pompes à vide peuvent être utilisés. Les pompes à vide et les systèmes de vide adaptés garantissent une prise en charge des différents dégazages de la technologie de traitement au plasma et un fonctionnement sans accroc avec une disponibilité maximale pour optimiser votre coût d'exploitation.
Leybold possède une vaste expérience et nos produits ont fait leurs preuves dans différents procédés de traitement au plasma. Leybold propose une solution de vide parfaitement adaptée aux besoins de chaque client.
Découvrez ci-dessous nos produits de traitement au plasma ou contactez-nous pour discuter de votre projet.
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
Les pompes à palettes bi-étagées lubrifiées excellent avec des performances de vide élevées en fournissant une pression limite faible. La version BCS-PFPE est particulièrement adaptée aux applications de plasma hautement réactif.
RUVAC
RUVAC
Trois séries différentes, WA(U), WS(U) et WH(U), et une large plage de vitesses de pompage de 251 à 9 800 m³/h. Le fonctionnement en option avec convertisseur de fréquence permet un contrôle précis du procédé. Les versions WS(U)-PFPE et WH-PFPE sont disponibles pour les applications de plasma hautement réactif
VARODRY
VARODRY
Pompe à vis sèche entièrement sans huile, refroidie par air, avec des vitesses d'aspiration de 65 à 200 m³/h, pour un coût d'exploitation optimal. La version VARODRY HD O2 est parfaite pour le traitement au plasma O2.
DURADRY
DURADRY
Pompes à vis sèches refroidies par eau avec une vitesse de pompage de 160 ou 250 m³/h. Niveau sonore inégalé, conception compacte et hermétique. Excellente manipulation de l'argon et des gaz légers grâce à la gestion stable de la chaleur. Compatibles avec presque tous les procédés de traitement au plasma grâce à leur grande robustesse.
DRYVAC
DRYVAC
Conception compacte, hermétique et éprouvée, combinée à une robustesse et une efficacité énergétique optimales. Offre des performances fiables et une disponibilité accrue pour les procédés de traitement au plasma, avec des vitesses d'aspiration allant de 200 à 800 m³/h.
TRIVAC B
Les pompes à palettes bi-étagées lubrifiées excellent avec des performances de vide élevées en fournissant une pression limite faible. La version BCS-PFPE est particulièrement adaptée aux applications de plasma hautement réactif.
RUVAC
Trois séries différentes, WA(U), WS(U) et WH(U), et une large plage de vitesses de pompage de 251 à 9 800 m³/h. Le fonctionnement en option avec convertisseur de fréquence permet un contrôle précis du procédé. Les versions WS(U)-PFPE et WH-PFPE sont disponibles pour les applications de plasma hautement réactif
VARODRY
Pompe à vis sèche entièrement sans huile, refroidie par air, avec des vitesses d'aspiration de 65 à 200 m³/h, pour un coût d'exploitation optimal. La version VARODRY HD O2 est parfaite pour le traitement au plasma O2.
DURADRY
Pompes à vis sèches refroidies par eau avec une vitesse de pompage de 160 ou 250 m³/h. Niveau sonore inégalé, conception compacte et hermétique. Excellente manipulation de l'argon et des gaz légers grâce à la gestion stable de la chaleur. Compatibles avec presque tous les procédés de traitement au plasma grâce à leur grande robustesse.
DRYVAC
Conception compacte, hermétique et éprouvée, combinée à une robustesse et une efficacité énergétique optimales. Offre des performances fiables et une disponibilité accrue pour les procédés de traitement au plasma, avec des vitesses d'aspiration allant de 200 à 800 m³/h.
- Applications connexes
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