真空幫浦與電漿處理技術解決方案
什麼是真空電漿處理？
電漿處理技術用途廣泛，應用於各個產業，包括電子、半導體製造、汽車和醫療等。典型的製程氣體包括氧氣、氬氣或 CF4。這些氣體在真空下利用電場被離子化形成電漿，可用於對表面進行鍍膜、清潔、活化或蝕刻，改變表面的潔淨度、附著力或功能性。
真空在電漿處理系統中扮演著至關重要的角色，它能有效地創造並維持電漿狀態。
- 有效提升製程反應：真空狀態下，電漿中產生的反應性離子能更有效地擴散到表面，進而進行表面改造、清潔、活化或蝕刻等製程。
- 均勻的表面處理：真空能確保不受污染的環境，維持電漿的均勻性，精準控制表面改造。
電漿處理對真空系統的挑戰
真空幫浦或抽氣系統面臨的主要挑戰是，製程中活化的離子 (例如氧離子或氟離子) 會被排出並可能進入幫浦。這些離子具有高活性，對環境和人體健康有害。
氧離子和氟離子會對幫浦材質造成顯著影響。油品和密封件可能會氧化、分解或劣化。因此，正確選擇油品和密封件材質對於幫浦的成功使用至關重要。
哪種類型的幫浦適用於真空電漿處理？
可以使用不同類型的真空幫浦。只有正確選擇真空幫浦和系統，才能處理電漿處理技術產生的各種廢氣，確保設備無故障運行，並最大限度地延長正常運行時間，從而優化您的持有成本。
Leybold 擁有豐富經驗，我們的產品已在各種電漿處理製程中得到充分驗證。針對每一種電漿處理製程，Leybold 都能提供滿足客戶需求的完美真空解決方案。
請在下方探索我們的電漿處理產品，或與我們聯絡以討論您的專案。
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
油封式雙級葉片幫浦以其卓越的高真空性能和低極限壓力而聞名。BCS-PFPE 版本更是專為高活性電漿應用而設計的佼佼者。
RUVAC
RUVAC
三種不同的 WA(U)，WS(U) 和 WH(U) 系列，涵蓋 251 至 9800 m³/h 的寬廣抽氣速度範圍，還能選配變頻器，精準控制製程。WS(U)-PFPE 和 WH-PFPE 版本適用於高活性電漿應用
VARODRY
VARODRY
完全無油、氣冷式乾式螺旋幫浦，吸入速度為 65 至 200 m³/h，有助於最佳化您的擁有成本。VARODRY HD O2 版本非常適合用於 O2 電漿處理。
DURADRY
DURADRY
水冷式乾式螺旋幫浦，具備 160 至 250 m³/h 抽氣速度。同級最佳的噪音水平、小巧的設計和全密封式密封。穩定的熱管理實現了出色的氬氣和輕質氣體處理能力。最高的耐用性，幾乎支援所有電漿處理製程。
DRYVAC
DRYVAC
小巧、全密封式密封和經驗證的設計，結合最高的耐用性和能源效率。為電漿處理製程提供可靠的效能和更高的運行時間，吸入速度為 200 至 800 m³/h。
TRIVAC B
油封式雙級葉片幫浦以其卓越的高真空性能和低極限壓力而聞名。BCS-PFPE 版本更是專為高活性電漿應用而設計的佼佼者。
RUVAC
三種不同的 WA(U)，WS(U) 和 WH(U) 系列，涵蓋 251 至 9800 m³/h 的寬廣抽氣速度範圍，還能選配變頻器，精準控制製程。WS(U)-PFPE 和 WH-PFPE 版本適用於高活性電漿應用
VARODRY
完全無油、氣冷式乾式螺旋幫浦，吸入速度為 65 至 200 m³/h，有助於最佳化您的擁有成本。VARODRY HD O2 版本非常適合用於 O2 電漿處理。
DURADRY
水冷式乾式螺旋幫浦，具備 160 至 250 m³/h 抽氣速度。同級最佳的噪音水平、小巧的設計和全密封式密封。穩定的熱管理實現了出色的氬氣和輕質氣體處理能力。最高的耐用性，幾乎支援所有電漿處理製程。
DRYVAC
小巧、全密封式密封和經驗證的設計，結合最高的耐用性和能源效率。為電漿處理製程提供可靠的效能和更高的運行時間，吸入速度為 200 至 800 m³/h。
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