LEYSPEC Cart - 機動殘氣分析儀
高效率且彈性的氣體分析
用於獨立殘氣分析的理想幫浦機組
LEYSPEC Cart 結合：
- 高效能 LEYSPEC 殘氣分析儀 (RGA)
- TURBOLAB 幫浦系統由 TURBOVAC i 渦輪幫浦和乾式壓縮 SCROLLVAC plus 渦捲式幫浦所構成。
您可以在單一裝置上享有多種生產工具需要的所有優勢。
移動式模組化 Cart
LEYSPEC Cart 提供高效率且彈性的氣體分析，不論壓力多少都沒問題。
- 本產品還可使用精細定量的 UHV 閥連接至任何製程。
- 可透過能在殘餘氣體分析期間進行無塵操作的全金屬結構進行烘乾。
充分具備機動性：您隨時隨地都可針對許多製程與應用執行本產品。
優點概覽：
市場與應用：
LEYSPEC 推車型產品適用於許多需要較高真空壓力的應用。
當您在下列範圍內操作時，這些行動式幫浦機組將可為您帶來極大的助益：
- 鍍膜
- 鋼材除氣
- 工業乾燥
然而，需要氣體分析的其他各市場也都能從這個幫浦系統受益。
