RUVAC WS/WSU
配備氣冷式密封馬達的魯式鼓風機
Leybold RUVAC WS 魯式鼓風機是由氣冷式或水冷式密封馬達所驅動。可用的頻率轉換器已與幫浦匹配，因此可排除機械過載的可能性。若壓差太高，幫浦的旋轉速度會自動降低，直到達到其負載為止。RUVAC WSU 系列的魯式真空幫浦附有額外的整合式壓力等化管路和差壓閥。這些系列的幫浦標準配備為垂直泵送動作。
供應設備
- 所需的機油量會與幫浦分開供應 (此處顯示例外情況)
- 如果未標示其他類型的機油，則標準為使用 LVO 100 礦物油
- 透過氮氣驅氣以防止腐蝕
- 含整合式塵垢篩網的進氣法蘭墊圈
WAU/WSU/WHU 系列的魯式真空幫浦提供額外的整合式壓力等化管路和差壓閥。
- 應用
- 線上商店
應用
- 適用於需要在壓力介於 10-2 和 10-4 mbar (0.75 x 10-2 和 0.75 x 10-4 Torr) 下高泵送速度的應用
- 用於必須避免在空氣進入或抽送介質外洩而可能發生污染的情境
- 吸入或抽取高純度氣體
- 用於空氣不得由馬達風扇再循環的無塵室
RUVAC 魯式鼓風機是建築玻璃鍍膜產業的標準設備。結合穩固的油封式 SOGEVAC 幫浦，可在負載腔體中實現最短的抽氣時間。結合乾式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 幫浦，保證能在製程腔體內提供乾燥、可靠且零故障的真空。
RUVAC 魯式鼓風機可用於多種應用，對於快速排空為第一要務的領域，能盡可能達到最短的循環時間，例如支援負載腔體或高速食品包裝。
RUVAC 魯式鼓風機在進行氣相沉積製程之前對燈具和絕緣表面抽真空時，可快速達到小於 10-3 mbar 的壓力。
RUVAC 鼓風機也用於製造單晶矽的單晶拉製設備，單晶是製造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很高興能為您提供廣泛的產品系列、應用支援及專業知識。
線上商店
- 適用於需要在壓力介於 10-2 和 10-4 mbar (0.75 x 10-2 和 0.75 x 10-4 Torr) 下高泵送速度的應用
- 用於必須避免在空氣進入或抽送介質外洩而可能發生污染的情境
- 吸入或抽取高純度氣體
- 用於空氣不得由馬達風扇再循環的無塵室
RUVAC 魯式鼓風機是建築玻璃鍍膜產業的標準設備。結合穩固的油封式 SOGEVAC 幫浦，可在負載腔體中實現最短的抽氣時間。結合乾式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 幫浦，保證能在製程腔體內提供乾燥、可靠且零故障的真空。
RUVAC 魯式鼓風機可用於多種應用，對於快速排空為第一要務的領域，能盡可能達到最短的循環時間，例如支援負載腔體或高速食品包裝。
RUVAC 魯式鼓風機在進行氣相沉積製程之前對燈具和絕緣表面抽真空時，可快速達到小於 10-3 mbar 的壓力。
RUVAC 鼓風機也用於製造單晶矽的單晶拉製設備，單晶是製造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很高興能為您提供廣泛的產品系列、應用支援及專業知識。
