Bombas de vacío y soluciones para tecnología de tratamiento por plasma
¿Qué es el tratamiento por plasma al vacío?
El tratamiento por plasma es una tecnología versátil ampliamente utilizada en diversas industrias, como la electrónica, la fabricación de semiconductores, la automoción, la medicina, etc. Los gases de proceso típicos son el oxígeno, el argón o el CF4. Estos gases se ionizan con un campo eléctrico al vacío para formar un plasma que se utiliza para revestir, limpiar, activar o grabar una superficie para modificar su limpieza, adherencia o funcionalidad.
El vacío desempeña un papel crucial en los sistemas de tratamiento por plasma para crear y mantener eficazmente las condiciones del plasma.
- Reacción eficiente del proceso: los iones reactivos generados en el plasma bajo vacío pueden difundirse a la superficie con mayor eficacia para los procesos de modificación, limpieza, activación o grabado de la superficie.
- Tratamiento uniforme de la superficie: el vacío puede garantizar un entorno libre de contaminantes para garantizar un plasma uniforme para un control preciso de la modificación de la superficie.
El desafío del tratamiento por plasma para su sistema de vacío
El principal reto para las bombas de vacío o los sistemas de bombeo es que durante el tratamiento se evacuan iones activados (por ejemplo, iones de oxígeno o iones de flúor) que podrían entrar en la bomba. Estos iones son altamente reactivos y tóxicos para el medio ambiente y la salud humana.
Los iones de oxígeno y los iones de flúor pueden tener un impacto significativo en los materiales de las bombas. Los aceites y las juntas podrían oxidarse, descomponerse o degradarse. Por lo tanto, la selección correcta de los materiales del aceite y de las juntas es crucial para un uso satisfactorio de la bomba.
¿Qué tipo de bomba es adecuada para el tratamiento por plasma al vacío?
Se pueden utilizar diferentes tipos de bombas de vacío. Solo la elección correcta de bombas y sistemas de vacío garantiza la gestión de las diferentes desgasificaciones de la tecnología de tratamiento por plasma y un funcionamiento sin problemas con el máximo tiempo de actividad para optimizar su coste de propiedad.
Leybold cuenta con una amplia experiencia y nuestros productos están ampliamente probados en diferentes procesos de tratamiento por plasma. Para cada proceso de tratamiento con plasma, Leybold puede ofrecer una solución de vacío perfecta para las necesidades del cliente.
Descubra a continuación nuestros productos para el tratamiento por plasma, o póngase en contacto con nosotros para hablar de su proyecto.
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
Las bombas de paletas de doble etapa selladas con aceite destacan por su alto rendimiento de vacío al ofrecer una presión final baja. La versión BCS-PFPE destaca para aplicaciones de plasma altamente reactivo.
RUVAC
Tres series diferentes WA(U), WS(U) y WH(U) y una amplia gama de velocidades de bombeo de 251 a 9800 m³/h. El funcionamiento opcional con convertidor de frecuencia permite un control preciso del proceso. Las versiones WS(U)-PFPE y WH-PFPE están disponibles para aplicaciones de plasma altamente reactivo.
VARODRY
Bomba de tornillo seco totalmente exenta de aceite y refrigerada por aire con velocidades de aspiración de 65 a 200 m³/h, lo que contribuye a optimizar su coste de propiedad. La versión VARODRY HD O2 es perfecta para el tratamiento por plasma de O2.
DURADRY
Bombas de tornillo seco refrigeradas por agua con velocidades de bombeo de 160 o 250 m³/h. El mejor nivel de ruido de su clase, diseño compacto y sellado herméticamente. La gestión estable del calor permite una excelente manipulación del argón y los gases ligeros. Máxima robustez para soportar casi todos los procesos de tratamiento por plasma.
DRYVAC
Diseño compacto, herméticamente sellado y probado, combinado con la mayor robustez y eficiencia energética. Ofrece un rendimiento fiable y un mayor tiempo de actividad para los procesos de tratamiento por plasma, velocidades de aspiración de 200 a 800 m³/h.
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