Pompe per vuoto e soluzioni per la tecnologia di trattamento al plasma
Cos'è il trattamento al plasma sottovuoto?
Il trattamento al plasma è una tecnologia versatile ampiamente utilizzata in vari settori, tra cui quello elettronico, di fabbricazione di semiconduttori, automotive, medico, ecc. I gas di processo tipici sono ossigeno, argon o CF4. Questi gas vengono ionizzati grazie a un campo elettrico sottovuoto per formare un plasma utilizzato per rivestire, pulire, attivare o incidere una superficie e modificarne la pulizia, l'adesione o la funzionalità.
Il vuoto gioca un ruolo cruciale nei sistemi di trattamento al plasma per creare e mantenere efficacemente le condizioni del plasma.
- Reazione di processo efficiente: gli ioni reattivi generati nel plasma sottovuoto possono diffondersi sulla superficie in modo più efficace per processi di modifica, pulizia, attivazione o incisione delle superfici.
- Trattamento uniforme della superficie: il vuoto può garantire un ambiente privo di contaminanti per mantenere un plasma uniforme, garantendo un controllo preciso della modifica superficiale.
In che modo il trattamento al plasma mette alla prova il tuo sistema per vuoto
La sfida principale per le pompe per vuoto o i sistemi di pompaggio è che gli ioni attivati (ad es. ioni ossigeno o fluoro) vengono evacuati durante il processo e potrebbero entrare nella pompa. Questi ioni sono altamente reattivi e tossici per l'ambiente e la salute umana.
Gli ioni ossigeno e fluoro possono avere un impatto significativo sui materiali che costituiscono le pompe. Gli oli e le guarnizioni potrebbero essere ossidati, decomposti o degradati. La scelta corretta dell'olio e dei materiali delle guarnizioni è quindi fondamentale per un utilizzo corretto della pompa.
Quale tipo di pompa è adatto per il trattamento al plasma sottovuoto?
È possibile utilizzare diversi tipi di pompe per vuoto. Solo la scelta giusta di pompe e sistemi per vuoto garantisce una gestione efficace dei diversi fenomeni di degasaggio della tecnologia di trattamento al plasma e un funzionamento senza problemi, con i massimi tempi di attività per ottimizzare i costi di proprietà.
Leybold, con la sua vasta esperienza e prodotti collaudati in vari processi di trattamento al plasma, è in grado di offrire soluzioni sottovuoto perfette per ogni esigenza del cliente.
Scopri i nostri prodotti per il trattamento al plasma di seguito, oppure contattaci per discutere del tuo progetto.
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
Le pompe a palette a due stadi a tenuta d'olio si distinguono per le loro elevate prestazioni di vuoto, garantendo una bassa pressione finale. La versione BCS-PFPE è particolarmente adatta per applicazioni al plasma altamente reattive.
RUVAC
RUVAC
Tre diverse serie WA(U), WS(U) e WH(U) e un'ampia gamma di velocità di pompaggio da 251 a 9800 m³/h. Il funzionamento opzionale con convertitore di frequenza consente un controllo preciso del processo. Le versioni WS(U)-PFPE e WH-PFPE sono disponibili per applicazioni al plasma altamente reattive
VARODRY
VARODRY
Pompa a vite a secco completamente oil-free raffreddata ad aria, con velocità di aspirazione da 65 a 200 m³/h che contribuisce a ottimizzare i costi di proprietà. La versione VARODRY HD O2 è perfetta per il trattamento al plasma con O2.
DURADRY
DURADRY
Pompe a vite a secco raffreddate ad acqua con velocità di pompaggio di 160 o 250 m³/h. Livello di rumore tra i migliori della categoria, design compatto e tenuta ermetica. La gestione stabile del calore consente un'eccellente gestione di argon e gas leggero. Massima robustezza per supportare quasi tutti i processi di trattamento al plasma.
DRYVAC
DRYVAC
Design compatto, a tenuta ermetica e collaudato, combinato con la massima robustezza ed efficienza energetica. Offre prestazioni affidabili e tempi di attività maggiori per i processi di trattamento al plasma; velocità di aspirazione da 200 a 800 m³/h.
TRIVAC B
Le pompe a palette a due stadi a tenuta d'olio si distinguono per le loro elevate prestazioni di vuoto, garantendo una bassa pressione finale. La versione BCS-PFPE è particolarmente adatta per applicazioni al plasma altamente reattive.
RUVAC
Tre diverse serie WA(U), WS(U) e WH(U) e un'ampia gamma di velocità di pompaggio da 251 a 9800 m³/h. Il funzionamento opzionale con convertitore di frequenza consente un controllo preciso del processo. Le versioni WS(U)-PFPE e WH-PFPE sono disponibili per applicazioni al plasma altamente reattive
VARODRY
Pompa a vite a secco completamente oil-free raffreddata ad aria, con velocità di aspirazione da 65 a 200 m³/h che contribuisce a ottimizzare i costi di proprietà. La versione VARODRY HD O2 è perfetta per il trattamento al plasma con O2.
DURADRY
Pompe a vite a secco raffreddate ad acqua con velocità di pompaggio di 160 o 250 m³/h. Livello di rumore tra i migliori della categoria, design compatto e tenuta ermetica. La gestione stabile del calore consente un'eccellente gestione di argon e gas leggero. Massima robustezza per supportare quasi tutti i processi di trattamento al plasma.
DRYVAC
Design compatto, a tenuta ermetica e collaudato, combinato con la massima robustezza ed efficienza energetica. Offre prestazioni affidabili e tempi di attività maggiori per i processi di trattamento al plasma; velocità di aspirazione da 200 a 800 m³/h.
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