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半導體工業中在惡劣條件下運作的乾式幫浦
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鋁蝕刻中乾式幫浦與迴轉葉片幫浦的評估
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Ausheizbare Verbindungen an Hochvakuum-Apparaturen
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W. Bächler und I. Wikberg
CERN 交叉儲存環的雙密封烘烤式分段閥
真空,21,1971,457-459
K. Teutenberg
UHV-Ganzmetallventile großer Nennweite
Vakuum-Technik, 21, 1972, 169-174
H. Henning
傳輸機率的近似計算
真空,28,1978,編號 3,Seite 151
G. Kühn
Gasströme durch Spalte im Grobvakuum
Vakuum-Technik, 33, 1984, 171-175
R. Haberland und B. Vogt
UHV-Ventil für extrem viele Schließzyklen
Vakuum-Technik, 34, 1985, 184-185
A. Sele
Vakuum-Ventile (VAT)
Vakuum in der Praxis, 1, 1989, 206-212
L. Fikes
Berechnung von Auspumpkurven mit Hilfe der Analogie von Gasstrom und
Elektrischem Strom
Vakuum in der Praxis, 4, 1992, 265-268
W. Herz
Zuverlässige Flanschverbindung im Anwendungsgebiet der Tieftemperaturund
Vakuumtechnik
Vakuum-Technik, 29, 1980, 67-68
低壓的測量
C. Meinke und G. Reich
Vermeidung von Fehlmessungen mit dem System McLeod-Kühlfalle
Vakuum-Technik, 12, 1963, 79-82
P. A. Readhead 與 J. P. Hobson
使用非磁性電離計測量低於 10–10 Torr 的
總壓力
英國應用物理學期刊,16,1965,1555-1556
C. Meinke und G. Reich
電離計之靜態與動態校正方法的
比較
真空科學技術期刊,4,1967,356-359
G. Reich und W. Schulz
Probleme bei der Verwendung von Ionisations-Vakuummetern im
Druckbereich oberhalb 10-2 Torr
第四屆國際真空會議的論文集,1968,
II. 物理學會第 6 屆會議輯,倫敦,661-665
G. Reich
Probleme bei der Messung sehr niedriger Total- und Partialdrücke
„Ergebnisse europäischer Ultrahochvakuum Forschung“
Leybold-Heraeus GmbH u. Co.,自己的出版社,科隆 1968,
99-106
A. Barz 與 P. Kocian
Extractor 真空計作為裸系統
真空科學技術期刊 7,1970,1,200-203
U. Beeck 與 G. Reich
Bayard-Alpert 與 Extractor 真空計的壓力指示
比較
真空科學與技術期刊 9,1972,1,126-128
U. Beeck
Untersuchungen über die Druckmessungen mit Glühkathoden-Inisations-
Vakuummetern im Bereich größer als 10-3Torr
Vakuum-Technik, 22, 1973, 16-20
G. Reich
Über die Möglichkeiten der Messung sehr niedriger Drücke
Meßtechnik, 2, 1973, 46-52
G. Reich
轉子黏度真空計;實驗室的傳輸標準,或用於真空製程控制的
精確真空計
真空科學技術期刊,20 (4),1982,1148-1152
G. Reich
Das Gasreibungs-Vakuummeter VISCOVAC VM 210
Vakuum-Technik, 31, 1982, 172-178
G. Grosse 與 G. Messer
使用分子束法校正壓力低於 10–9 mbar 的
真空計
Vakuum-Technik, 30, 1981, 226-231
Chr. Edelmann et al.: Möglichkeiten der Meßbereichserweiterung bei
Glühkathoden-Ionisationsmanometern (相關文獻的
大量參考)
Vakuum-Technik, 31, 1982, 2-10
Chr. Edelmann
Stand und Entwicklungstendenzen der Totaldruckmessung in der Vakuum-
Technik
Vakuum-Technik, 33, 1984, 162-180
J. K. Fremerey
Das Gasreibungsvakuummeter
Vakuum-Technik, 36, 1987, 205-209
G. Messer
Kalibrierung von Vakuummetern
Vakuum-Technik, 36, 1987, 185-192
G. Messer und W. Grosse
Entwicklung der Vakuum-Metrologie in der PTB (相關文獻的
大量參考)
Vakuum-Technik, 36, 1987, 173-184
G. Reich
Industrielle Vakuummeßtechnik
Vakuum-Technik, 36, 1987, 193-197
L. Schmidt und E. Eichler
Die Praxis einer DKD-Kalibrierstelle
Vakuum-Technik, 36, 1987, 78-82
C. Kündig
Vakuummeßgeräte für Totaldruck
Vakuum in der Praxis, 2, 1990, 167-176
Chr. Edelmann
Glühkahtoden-Ionisationsmanometer für hohe Drücke im Vakuumbereich
Vakuum in der Praxis, 3, 1991, 290-296
M. Ruschitzka 與 W. Jitschin
Physikalische Grundlagen des Wärmeleitungsvakuummeters
Vakuum in der Praxis, 4, 1992, 37-43
T. Koopmann
Neue Trends in der Vakuum-Meßtechnik
Vakuum in der Praxis, 5, 1993, 249-254
Chr. Edelmann
Die Entwicklung der Totaldruckmessung im UHV- und
Extremvakuumbereich
Vakuum in der Praxis, 6, 1994, 213-219
W. Jitschin
Kalibrierung, Abnahme und Zertifizierung (具有相關文獻的
大量參考)
Vakuum in der Praxis, 6, 1994, 193-204
W. Jitschin
Obere Meßbereichsgrenze von Glühkatoden-Ionisationsvakuummetern
Vakuum in Forschung und Praxis, 7, 1995, 47-48
F. Mertens et al.
Einfluß von Gasadsorbaten auf die Eigenschaften eines Glühkatoden-
Ionisationsvakuummeters mit axialer Emission nach Chen und Suen
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壓力監控、控制與調節
K. G. Müller
Betriebsüberwachung, Steuerung und Automatisierung von
Vakuumanlagen
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G. Kienel
Elektrische Schaltgeräte der Vakuumtechnik
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A. Bolz, H. Dohmen und H.-J. Schubert
Prozeßdruckregelung in der Vakuumtechnik
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Vakuumdruckmessung und -Regelung in der chemischen
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Druckregelung in Vakuumsystemen
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Druckregelung bei Vakuumprozessen durch umrichtergespeiste
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低壓下的質譜儀氣體分析
H. Hoch
Total- und Partialdruckmessungen bei Drücken zwischen 2 · 10–
10 und 2 ·
10–2 Torr
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Partialdruckmessung und Partialdruckmeßgeräte
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Ein neues Quadrupolmassenspektrometer mit massenunabhängiger
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Grundlagen der Dichtheitsprüfung mit Hilfe von Testgasen
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Lecksuche an Chemieanlagen
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Lecksuche an Chemieanlagen mit He-Massenspektrometer-
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Ein neuer Universal-Lecksucher mit luftgekühlter Turbo-Molekularpumpe
Vakuum-Technik, 29, 1980, 205-208
W. Jansen
Grundlagen der Dichtheitsprüfung mit Hilfe von technischen Gasen
Vakuum-Technik, 29, 1980, 105-113
H. Mennenga
Dichtheitsprüfung von Kleinteilen
Vakuum-Technik, 29, 1980, 195-200
Chr. Falland
Entwicklung von He-Lecksuchtechniken für UHV-Systeme großer
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He-Diffusionslecks als sekundäre Normale für den Gasdurchfluß
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Moderne He-Leckdetektoren unterschiedlicher
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Lecksucher (具有相關文獻的參考)
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Einführung in die industrielle Dichtheitsprüftechnik
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W. Fuhrmann
Industrielle Dichtheitsprüfung – ohne Testgas nach dem
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G. Z. Sauerbrey
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使用晶體振動器自動控制薄膜沉積速率,以
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使用晶體振動器自動控制薄膜沉積速率,以
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J. G. Miller 與 D. I. Bolef
石英晶體薄膜厚度監測器操作的
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C. Lu 與 O. Lewis
使用大質量負載振動石英共振器研究
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使用壓電石英晶體共振器判定質量。
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美國專利號碼 5,117,192 (1992 年 5 月 26 日)
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已改進石英晶體微量天平技術
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C. J. Wilson
AT 截法凸石英共振器的振動模式。
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在耦合厚度剪切與厚度扭轉的泛音中運作之
輪廓晶體共振器的分析。
美國聲學學會期刊 65,(6) 1455,1979
R. E. Bennett、C. Rutkoeski 與 L. A. Taylor
第十三屆頻率控制年會的論文集,
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Chih-shun Lu
提高石英晶體監測器的準確度
研究/開發,第 25 卷,45-50,1974,技術出版
公司
A. Wajid
透過自動判定聲阻抗比
提高
石英晶體微量天平的準確度。
修訂版科學儀器,第 62 (8) 卷,2026-2033,1991
D. Graham 與 R. C. Lanthrop
最佳瞬變回應的綜合:
準則與標準表格
IEEE 會刊,第 72 卷第 II 部分,1953 年 11 月
A. M. Lopez、J. A. Miller、C. L. Smith 與 P. W. Murrill
使用誤差積分準則調整控制器
儀器技術,1969 年 11 月
C. L. Smith 與 P. W. Murril
調整控制器的更精確方法
ISA 期刊,1966 年 5 月
G. H. Cohen 與 G. A. Coon
推遲控制的理論研究
Taylor 技術資料表,Taylor Instrument Companies,羅契斯特,
紐約
J. G. Ziegler 與 N. B. Nichols
自動控制器的最佳設定
Taylor 技術資料表編號 TDS 10A100,Taylor Instrument
Companies,羅契斯特,紐約
C. Lu 與 A. W. Czanderna
壓電石英晶體微量天平的應用 (第 7 卷:
方法與現象,其在科學與技術中的應用)
Elesvier,阿姆斯特丹,牛津,紐約,東京,1984
G. Simmons 與 H. Wang
單晶彈性常數與計算的綜合特性 -
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麻省理工學院出版社,劍橋,麻薩諸塞州,1971
C. D. Stockbridge
第 5 卷「真空微量天平技術」
K. Behrndt,編輯,培格曼
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S. Sotier
Schwingquarz-Schichtdickenmessung
Vakuum in der Praxis 1992, 182-188
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W. Espe
Werkstoffkunde der Hochvakuumtechnik
1959 年第 1 卷,1960 年第 2 卷,1961 年第 3 卷,
VEB Deutscher Verlag der Wissenschaften, Berlin
W. Espe
Werkstoffe für trennbare metallische Verbindungen
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Feinwerktechnik, 68, 1964, 131-140
W. Espe
Synthetische Zeolithe und ihre Verwendung in der Hochvakuumtechnik
Experimentelle Technik der Physik, XII, 1964, 293-308
H. Adam
Allgemeiner Überblick über die Werkstoffe der Vakuumtechnik und deren
Auswahl
Haus der Technik Vortragsveröffentlichungen „Werkstoffe und
Werkstoffverbindungen in der Vakuumtechnik“ H. 172, Vulkan-Verlag, Dr.
W. Classen, Essen, 1968, 4 – 13
K. Verfuß
Bessere Oberflächenvergütung durch Elektropolieren – am Beispiel der
Vakuum-Technik
VDI-Berichte, 183, 1972, 29-34
K. Verfuß
Schweißen und Hartlöten
Haus der Technik, Vortragsveröffentlichungen
„Werkstoffe und
Werkstoffverbindungen
in der Vakuumtechnik, H. 172
Vulkan-Verlag Dr. W. Classen, Essen, 1968, Seiten 39 -49
Chr. Edelmann
Gasabgabe von Festkörpern im Vakuum
Vakuum-Technik, 38, 1989, 223-243
R. Fritsch
Besonderheiten vakuumdichrter Schweißverbindungen
Vakuum-Technik, 38, 1989, 94-102
H. Henning
Vakuumgerechte Werkstoffe und Verbindungstechnik,第 1 部分
Vakuum in der Praxis, 2, 1990, 30-34
R. Fritsch
Vakuumgerechte Werkstoffe und Verbindungstechnik,第 2 部分
Vakuum in der Praxis, 2, 1990, 104-112
M. Mühlloff
Vakuumgerechte Werkstoffe und Verbindungstechnik,第 3 部分
Vakuum in der Praxis, 2, 1990, 179-184
字典
F. Weber
高真空的 Elsevier 字典
科學與技術 (德文、英文、法文、西班牙文、義大利文、
俄文)
Elsevier Verlag 1968
Hurrle / Jablonski / Roth
真空物理與真空技術的技術字典 (德文、
英文、法文、俄文)
Pergamon Press Verlag,牛津,1972