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TURBOVAC MAG – 磁懸浮渦輪幫浦

無須維護的磁懸浮渦輪分子幫浦

輕巧、多功能、潔淨及低震動

專為敏感應用而量身打造

  • 鍍膜應用:從玻璃鏡片、醫療器材產品到航太元件和太陽能板的鍍膜。
  • 科學研究:TURBOVAC MAG 系列在操作上毫無震動且乾淨,備受精密研究流程廣泛採用,例如質譜儀或電子顯微鏡。
  • 工業應用:具備穩健可靠的效能,正是此業界維持生產水準的關鍵。TURBOVAC MAG 幫浦的高組建標準,加上磨損的降低,讓這些幫浦非常適合用於這些環境。

TURBOVAC MAG 2807 iS 和 3207 iS

3000 l/s 抽速等級幫浦中最輕巧的磁懸浮幫浦

TURBOVAC MAG iS 幫浦利用電磁鐵,懸浮並定位定子和轉子葉片,而不是採取油潤式軸承系統。此設計的優點甚多,包括: 

  • 磨損幅度得以減至最低,不僅縮短維護週期,亦無須更換機油或潤滑軸承匣 

  • 大幅降低噪音與震動。很適合需要乾淨、乾燥及無碳氫化合物真空的敏感應用  

  • 抽氣速度高達 3,200 l/s,效能令人驚艷 

不過,TURBOVAC MAG iS 系列與眾不同之處在於功能多樣。重量不到 60 公斤,在 3,000 l/s 等級是重量最輕、體積最小巧的幫浦,可採任何方向安裝。因此,對於空間有限或需要彈性部署的環境而言,無疑是完美首選。  

TURBOVAC MAG 3207 iS - 前視圖

TURBOVAC MAG 2807 iS

TURBOVAC MAGiNTEGRA

準確性、精準度和可靠性

TURBOVAC MAGiNTEGRA 為磁懸浮幫浦,是一款強大且精巧的產品系列,適用於分析、環境、研究和具有挑戰性的工業鍍膜應用。

  • 高抽氣速度和氣載量,適用於更快的抽空時間,以改善設備循環節奏。 
  • 5 軸主動式磁浮軸承與驅動系統,結合高可靠性與安全且有效率的操作。
  • 完全整合的變頻器和電源供應器:不再需要傳統的機架式分離控制器和電纜相互連接。

基於安全考量,在斷電的情況下,驅動系統會切換到發電機模式,以通過緩慢減速來保持轉子懸浮。當電源恢復時,幫浦開始自動加速到正常速度。

TURBOVAC MAGiNTEGRA 提供 IP 54 防護等級,是嚴苛工業應用環境中的理想幫浦。

磁浮渦輪幫浦可用於壓力 10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 至 10-10 mbar (0.75 x 10-10 Torr) 的壓力範圍。對氣體的抽速從 300 l/s 到 2,200 l/s 不等。

TURBOVAC MAGiNTEGRA 幫浦主要安裝在需要以下條件的區域:

  • 無噪音且無震動的操作, 
  • 無碳氫化合物汙染,
  • 維護間隔時間長。
Turbomolecular Pumps

靈活性

這款高真空幫浦在任何安裝方向都具有高效能,而且可以輕鬆整合到您的系統中。

TURBOVAC MAG Integra 渦輪分子幫浦為節省空間的選項,並且屬於潔淨的高真空與超高真空世代。

可選擇將控制器配置於側面或底部的靈活設計及其創新的模組化工業通信解決方案簡化了系統的整合。

適用於標準工業用途,例如:PVD、顯示器、光學與建築玻璃鍍膜。

可靠

TURBOVAC MAGiINTEGRA 對所有氣體都具有高抽速和高壓縮比。

其對於下列項目不敏感:

  • 處理微粒和粉塵
  • 大氣突入。

本系列產品為無碳氫化合物汙染源的幫浦,可保證乾淨的高真空和超高真空環境。

結合複合式與典型渦輪轉子區段,以及整合式變頻控制器與電源供應器。

綜合以上各點以及極低的震動在在使其具有極高程度的操作可靠性。

免維護

高達 10,000 小時無須維護的運作,具備監控和自我保護功能。

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