플라즈마 처리 기술을 위한 진공 펌프 및 솔루션
진공 플라즈마 처리란?
플라즈마 처리는 전자 제품, 반도체 제조, 자동차, 의료, 의료 등 다양한 산업에서 널리 사용되는 다목적 기술입니다. 일반적인 공정 가스는 산소, 아르곤 또는 CF4입니다. 이러한 가스는 진공 상태에서 전기장과 함께 이온화되어 표면을 코팅, 세척, 활성화 또는 에칭하여 표면 청결도, 접착력 또는 기능을 수정하는 데 사용되는 플라즈마를 형성합니다.
진공은 플라즈마 상태를 효과적으로 생성하고 유지하는 플라즈마 처리 시스템에서 중요한 역할을 합니다.
- 효율적인 공정 반응: 진공 상태에서 플라즈마에서 생성되는 반응성 이온은 표면 수정, 세척, 활성화 또는 에칭 공정을 위해 보다 효과적으로 표면으로 확산될 수 있습니다.
- 균일한 표면 처리: 진공은 오염 물질이 없는 환경을 보장하고 균일한 플라즈마를 보호하여 표면 개질을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
플라즈마 처리가 진공 시스템에 일으키는 문제
진공 펌프 또는 펌핑 시스템의 주요 과제는 공정 중에 활성 이온(예: 산소 이온 또는 불소 이온)이 배출되어 펌프로 들어갈 수 있다는 것입니다. 이러한 이온은 매우 반응성이 높고 환경과 인체의 건강에 독성이 있습니다.
산소 이온과 불소 이온은 펌프 재료에 상당한 영향을 미칠 수 있습니다. 오일과 씰은 산화, 분해 또는 저하될 수 있습니다. 따라서 올바른 오일 및 씰 재질 선택은 성공적인 펌프 사용을 위해 매우 중요합니다.
진공 플라즈마 처리에 적합한 펌프 유형
다양한 유형의 진공 펌프를 사용할 수 있습니다. 올바른 진공 펌프와 시스템을 선택해야만 플라즈마 처리 기술의 다양한 가스 배출을 처리하고 가동 시간을 극대화하여 소유 비용을 최적화하는 문제 없는 작동을 보장할 수 있습니다.
Leybold는 광범위한 경험을 보유하고 있으며, 당사의 제품은 다양한 플라즈마 처리 공정에서 그 성능이 입증되었습니다. 각 플라즈마 처리 공정마다 고객의 요구사항에 맞는 완벽한 진공 솔루션을 제공할 수 있습니다.
아래에서 플라즈마 처리용 제품을 확인하거나, 귀하의 프로젝트와 관련하여 문의하십시오.
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
오일 씰링 2단계 베인 펌프는 낮은 최종 압력을 전달하여 높은 진공 성능을 발휘합니다. BCS-PFPE 버전은 반응성이 높은 플라즈마 응용 분야에 탁월합니다.
RUVAC
RUVAC
3가지 시리즈 WA(U), WS(U), WH(U)와 251~9,800m³/h의 넓은 펌핑 속도 범위. 주파수 변환기를 통한 선택적 작동으로 정밀한 공정 제어가 가능합니다. WS(U)-PFPE 및 WH-PFPE 버전은 반응성이 높은 플라즈마 응용 분야에 사용할 수 있습니다.
VARODRY
VARODRY
흡입 속도가 65~200m³/h인 완벽한 무급유식 공랭식 건식 스크류 펌프로 소유 비용을 최적화할 수 있습니다. VARODRY HD O2 버전은 O2 플라즈마 처리에 적합합니다.
DURADRY
DURADRY
160 또는 250m³/h 펌핑 속도를 가진 수냉식 건식 스크류 펌프. 동급 최고의 소음 수준, 컴팩트한 디자인, 밀폐형. 안정적인 열 관리로 우수한 아르곤 및 경량 가스 처리 가능. 거의 모든 플라즈마 처리 공정을 지원하는 최고의 견고성.
DRYVAC
DRYVAC
밀폐되고 검증된 콤팩트한 설계와 최고의 견고성 및 에너지 효율이 결합되었습니다. 플라즈마 처리 공정을 위한 안정적인 성능과 증가된 가동 시간, 200~800m³/h의 흡입 속도를 제공합니다.
TRIVAC B
오일 씰링 2단계 베인 펌프는 낮은 최종 압력을 전달하여 높은 진공 성능을 발휘합니다. BCS-PFPE 버전은 반응성이 높은 플라즈마 응용 분야에 탁월합니다.
RUVAC
3가지 시리즈 WA(U), WS(U), WH(U)와 251~9,800m³/h의 넓은 펌핑 속도 범위. 주파수 변환기를 통한 선택적 작동으로 정밀한 공정 제어가 가능합니다. WS(U)-PFPE 및 WH-PFPE 버전은 반응성이 높은 플라즈마 응용 분야에 사용할 수 있습니다.
VARODRY
흡입 속도가 65~200m³/h인 완벽한 무급유식 공랭식 건식 스크류 펌프로 소유 비용을 최적화할 수 있습니다. VARODRY HD O2 버전은 O2 플라즈마 처리에 적합합니다.
DURADRY
160 또는 250m³/h 펌핑 속도를 가진 수냉식 건식 스크류 펌프. 동급 최고의 소음 수준, 컴팩트한 디자인, 밀폐형. 안정적인 열 관리로 우수한 아르곤 및 경량 가스 처리 가능. 거의 모든 플라즈마 처리 공정을 지원하는 최고의 견고성.
DRYVAC
밀폐되고 검증된 콤팩트한 설계와 최고의 견고성 및 에너지 효율이 결합되었습니다. 플라즈마 처리 공정을 위한 안정적인 성능과 증가된 가동 시간, 200~800m³/h의 흡입 속도를 제공합니다.
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