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LEYSPEC 카트 - 이동식 잔류 가스 분석기

효율적이고 유연한 가스 분석

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독립적인 잔류 가스 분석에 적합한 이상적인 펌핑 스테이션

LEYSPEC 카트는 다음과 같은 기능을 결합합니다.

여러 가지 생산 도구를 하나의 장치에서 사용할 수 있으며 필요한 모든 혜택을 누릴 수 있습니다.

모바일 모듈식 카트

LEYSPEC 카트는 압력에 관계없이 효율적이고 유연한 가스 분석을 제공합니다. 

  • 미세 용량 UHV 밸브를 사용하여 모든 공정에 연결할 수 있습니다.
  • 잔류 가스 분석 시 깨끗한 작동이 가능한 전금속 구조를 통해 베이크아웃이 가능합니다.

완전한 이동식: 많은 프로세스 및 응용 분야에서 필요할 때 어디서나 작업을 수행할 수 있습니다.

한 눈에 파악하는 장점:

빠른 측정 준비

TURBOLAB 펌핑 스테이션으로 통합된 공정 제어

LEYSPEC 소프트웨어를 통해 매우 쉽고 직관적으로 작동하여 장시간 교육 불필요

공정 또는 챔버의 모든 지점에서 이동식 잔류 가스 분석

공정 가스에 완전히 포커스를 맞추어 베이크 가능

대기압 아래에서도 압력에 의존하지 않는 잔류 가스 분석을 제공

시장 및 응용 분야:

LEYSPEC 카트는 고진공 압력을 필요로 하는 많은 응용 분야에 사용됩니다.

다음과 같은 환경에서 작업할 때 이러한 이동식 펌핑 스테이션을 사용하면 큰 이점을 얻을 수 있습니다.

  • 코팅
  • 강철 탈기
  • 산업용 건조

그러나 가스 분석이 필요한 다른 모든 시장에서 이 펌프 시스템의 이점을 활용할 수 있습니다.

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LEYSPEC Cart - Residual gas analyzer

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