真空幫浦維護一般故障排除
在本節中，我們會提供關於故障排除與幫浦維護的一般指示。此外，我們也會討論可能的錯誤及其原因。
真空幫浦的一般操作資訊
應在安裝幫浦之前，在進氣口與出口打開的情況下，檢查馬達旋轉的方向。從馬達端來看，驅動軸應逆時針旋轉。請注意馬達或外殼上指示旋轉方向的箭頭。如果馬達以錯誤的方向轉動，可透過交換馬達連接接線板的兩相來改正。
未達到所需極限真空壓力或實現速度太慢時故障的原因
如果在真空設備中根本未達到所需極限真空壓力，或其只會在超長抽氣期間之後達到，則可能因為發生以下問題：
- 真空系統可能洩漏或髒污，
- 幫浦可能髒污或損壞，
- 真空計可能故障。
如果所需極限真空壓力只會在非常長的抽氣時間之後達到，則表示
- 真空系統可能髒污，
- 抽氣管線可能受限或直徑太小，
- 幫浦可能髒污或容量太小，
- 抽氣速度可能因其他原因而受限。
為了定位故障，您應繼續將抽真空容器與幫浦系統分開，並確保只有幫浦系統會達到極限真空壓力。如果其未達到極限真空壓力，請參閱使用中幫浦類型的個別幫浦區段。
接下來，您需要使用諸如壓力上升方法，檢查容器與管路/法蘭是否發生洩漏與污染。眾所周知，法蘭密封是最容器因一開始無足輕重的輕微刮蹭與機械損壞而發生洩漏的地方。就這一點而言，如果容器沒有瑕疵，則會檢查測量系統的清潔程度 (請參閱維護真空計的相關頁面)。
真空容器的污染及消除污染
偵測污染的常用程序是在管線中插入或未插入冷阱的情況下比較同一個真空計的壓力指示：如果容器因蒸氣在阱中凍住而受到污染，在冷阱中填充液態氮會導致壓力突然下降十的一次方或以上。
在金屬設備中消除污染
金屬元件通常會顯示出機油與潤滑脂的污染痕跡。如果這些痕跡無法透過抽排容器立即消除，則必須使用適當的有機溶劑 (變性醇在所有情況下都不適合) 來清潔。蒸氣浴可達到最大程度的清潔，這在工業中很常見。若要達到極低的壓力範圍 (< 10-7 mbar)，必須在清潔之後，於高達 200°C 的溫度下烘烤金屬元件。嚴重污染的金屬元件必須先透過切掉或噴沙頂部表面進行清潔。這些方法具有以下風險：處理的表面區域經過粗化會增加，且可能會形成將立即吸附蒸氣分子的活性中心。建議在蒸氣浴中進行補充性清潔。在某些情況下，表面的電解浸洗可能有益。若為高真空元件，需要確保浸洗不會轉為蝕刻，進而極大地增加表面區域。當在粗真空與中度真空範圍內工作時，不避對已噴沙的表面進行拋光，因為表面在這些壓力流態中僅扮演次要的角色。
真空技術的基本要素
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參考
