누출 감지기 검교정 방법
누출 감지기의 검교정은 검교정 누출(또는 테스트 누출)이 부착된 누출 감지기의 디스플레이를 조정하는 것으로 이해해야 합니다.
검교정 누출이란 특정 온도 및 특정 압력 조건에서 누출률이 정확하게 알려진 누출입니다. 이 누출률은 검교정 누출의 검교정 인증서에 제공되거나 검교정 누출에 부착된 라벨에 기록됩니다.
진공 작업에서는 다음 두 가지 검교정 유형을 구분해야 합니다.
- 누출 감지기의 내부 검교정은 누출 감지기에 영구적으로 내장된 검교정 누출을 사용합니다. 이 "내부 검교정 누출"을 사용하여 검교정 누출이 내장된 누출 감지기만 검교정할 수 있습니다.
모든 Leybold 누출 감지기에는 내부 검교정 누출이 장착되어 있습니다. 자동 작동되는 검교정 루틴을 통해 각 누출 감지기는 단 몇 초 내에 "내부적으로 검교정"될 수 있습니다. - 누출 감지기의 외부 검교정은 누출 감지기의 흡입구에 설치된 검교정 누출을 사용합니다. 이 "외부 검교정 누출"을 사용하여 누출 감지기를 단 몇 분 만에 검교정할 수 있습니다.
또한, 외부 검교정 누출은 내부 검교정 누출의 적절한 기능 및 작동을 점검하는 데 사용될 수 있습니다. 특히, 외부 검교정 누출은 전체 누출 감지기 시스템이나 부분 유량 배열을 검교정해야 하는 경우 항상 사용됩니다.
스니퍼 장치 및 스니퍼 배열도 일반적으로 외부 검교정 누출로 검교정해야 합니다. 이 경우, 검교정 누출의 전체 테스트 기체가 스니퍼 팁에 도달하고, 다른 한편으로는 스니퍼 유닛을 통과하는 기체 흐름이 검교정 프로세스에 의해 방해를 받지 않도록 해야 합니다(아래 그림 9 참조).
그림 9: 스니퍼 검교정 누출의 검교정 연결
스니퍼 기법을 사용하여 측정을 수행할 때는 프로브 팁에서 표본 표면까지의 거리 및 스캔 속도도 고려해야 합니다. 검교정 과정에서 이러한 값을 포함해야 합니다. 헬륨 농도를 측정하는 특수한 경우, 전 세계적으로 균일한 5ppm인 공기 중의 헬륨 함량을 사용하여 검교정을 수행할 수 있습니다.
검교정 누출은 일반적으로 기체 공급, 컨덕턴스 값이 정의된 초크 및 밸브로 구성됩니다. 구성은 필요한 누출률에 따라 달라집니다.
그림 10: 검교정 누출 구성의 예
a - 기체 공급 없는 검교정 누출
b - 스니퍼 및 진공 응용 분야 관련 검교정 누출
c - (내부) 모세관 검교정 누출
d - 투과 검교정 누출("확산 검교정 누출"이라고도 함)
e - 냉매 검교정 누출
위의 그림은 다양한 헬륨 검교정 누출을 보여줍니다.
침투 누출은 일반적으로 누출률이 10–10 ~ 10–7mbar ·l/s인 경우에 사용됩니다. 모세관은 일반적으로 10–7 ~ 10–4mbar·l/s 사이의 누출률에 사용되며, 10 ~ 1000mbar·l/s 범위의 매우 큰 누출률에 대해서는 정확히 정의된 컨덕턴스 값을 가진 파이프 섹션 또는 오리피스 플레이트에 사용됩니다.
냉매 충전에 사용되는 검교정 누출은 냉매가 실온에서 액체 상태가 되고 일반적으로 4bar에서 10bar 사이의 증기 압력을 갖기 때문에 특별한 상황을 나타냅니다. 해결하기 어려운 한 가지 기술적 문제는 모세관이 막힐 위험입니다. 또한 모든 냉매가 오일 및 그리스에 대해 매우 양호한 용제이므로 검교정 누출을 순수 냉매로 채우기 어려운 경우가 많기 때문에 발생합니다. 여기서 결정적인 것은 화학적 조성뿐만 아니라, 미세 모세관을 반복적으로 막을 수 있는 모든 용해된 입자가 있습니다.
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