질량 분석기를 사용하는 누출 감지기의 감지 한계
감지 한계, 배경, 오일 내 기체 보관(기체 밸러스트), 부동 영점 억제
감지할 수 있는 가장 작은 누출률은 감지할 기체의 기본 배경 수준에 따라 결정됩니다.
누출 감지기의 입구가 닫혀 있어도 테스트 기체는 질량 분석기로 들어가게 되며, 전자 장치가 이를 감지할 수 있다면 분석기에서 탐지됩니다.
질량 분석기에서 생성된 배경 신호에 따라 누출 감지기의 감지 수준이 결정됩니다.
질량 분석기를 배출하는 데 사용되는 고진공 펌프 시스템은 일반적으로 터보 분자 펌프와 오일 밀봉 로터리 베인 펌프로 구성됩니다. 회전 날개 펌프의 오일은 기체를 용해할 수 있는 능력을 가지며, 오일에 용해된 기체와 오일 외부의 기체 간에 평형이 이루어질 때까지 계속해서 기체를 용해합니다.
펌프가 예열되면 이 평형 상태는 누출 감지기의 감지 한계를 나타냅니다.
하지만 테스트 기체는 입구를 통해서만 누출 감지기에 들어올 수 있는 것은 아닙니다. 테스트 기체의 부적절한 설치나 미숙한 취급으로 인해, 테스트 기체가 공기 배출 밸브 및/또는 가스 밸러스트 밸브를 통해 누출 감지기 내부로 들어올 수 있습니다.
이로 인해 오일 및 탄성체 씰의 테스트 기체 농도가 높아져 배경 신호가 증가하게 됩니다.
결론: 오일에 더 많은 테스트 기체가 존재할수록 누출 감지기의 배경 신호가 높아집니다.
누출 감지기를 일반적으로 설치하는 경우(아래 그림 7 참조), 기체 밸러스트 밸브 및 공기 밸브는 신선한 공기에 연결됩니다. 가능한 경우 누출 감지기의 출구는 누출 테스트가 수행되는 검사실 외부로 연결되어야 합니다. 테스트 기체가 들어 있지 않은 기체(예: 신선한 공기)를 넣고
기체 밸러스트 밸브를 열면 증가된 배경 신호를 다시 낮출 수 있습니다. 오일에 저장된 헬륨이 플러싱됩니다. 그 효과는 항상 펌프 본체에 있는 오일의 일부에만 영향을 미치므로 펌프의 전체 오일 공급이 여러 번 재순환될 때까지 플러싱 절차를 계속해야 합니다. 이 시간은 보통 20~30분입니다.
그림 7: 역류 누출 감지기의 진공 다이어그램
오일 밀봉 진공 펌프가 없는 누출 감지기인 소위 "건식 누출 감지기"의 경우 오일 내에 기체가 저장되는 문제는 없습니다. 그러나 시간이 지남에 따라 테스트 기체가 이들 장치에도 축적되기 때문에 건조 누출 감지기는 테스트 기체가 없는 기체로 플러싱해야 합니다.
사용자가 항상 배경 레벨을 확인해야 하는 번거로움을 덜고 누출 감지기의 작동을 간소화하기 위해 모든 Leybold 누출 감지기의 자동 작동 개념에는 이른바 부동 영점 억제 기능이 통합되었습니다.
여기서 입구 밸브가 닫힌 후 측정된 배경 레벨은 저장되고 밸브가 다시 열리면 이후 측정값에서 자동으로 차감됩니다. 비교적 높은 임계값 레벨에서만 디스플레이 패널에 해당 경고가 표시됩니다.
이 부동 영점 억제 기능과 무관하게 Leybold 누출 감지기는 수동 영점 전환 기능을 제공합니다. 여기에서 특정 시점에 누출 감지기에 대한 표시는 0으로 재설정되므로 해당 지점에서의 누출률 상승만 표시됩니다. 이 기능은 디스플레이를 쉽게 평가할 수 있을 뿐, 정확성에 영향을 주지 않을 수 있습니다.
그림 8: 영점 억제의 예
위의 그림은 영점 억제를 설명하기 위해 제공됩니다.
- 왼쪽 차트: 신호가 배경보다 훨씬 큽니다.
- 가운데 차트: 배경이 상당히 상승하여 신호를 식별하기 어렵습니다.
- 오른쪽 차트: 배경이 전기적으로 억제됩니다. 신호를 다시 명확하게 식별할 수 있습니다.
누출 감지의 기초
"누출 감지의 기초" e-Book을 다운로드하여 누출 감지의 필수 요소와 기법을 알아보십시오.
- 관련 제품
- 관련 블로그
- 관련 지식
관련 지식
