プラズマ処理技術用の真空ポンプおよびソリューション
真空プラズマ処理とは
プラズマ処理は、エレクトロニクス、半導体製造、自動車、医療などのさまざまな業界で広く使用されている汎用性の高い技術です。一般的なプロセスガスは、酸素、アルゴン、CF4です。これらのガスは、真空下で電界によってイオン化され、プラズマを形成します。プラズマは、表面の清浄度、付着性、機能性を改質するための表面のコーティング、洗浄、活性化、エッチングに使用されます。
プラズマ処理システムにおいて、真空は、プラズマ状態を効果的に作り出し、維持するために重要な役割を果たします。
- 効率的なプロセス反応：真空下のプラズマで生成された反応性イオンは、表面改質、洗浄、活性化、エッチングプロセスのために、より効果的に表面に拡散することができます。
- 均一な表面処理：真空状態は、均一なプラズマを保護し、表面改質を正確に制御するための汚染のない環境を保証します。
プラズマ処理が真空システムに及ぼす影響
真空ポンプやポンプシステムの主な課題は、活性化したイオン（酸素イオンやフッ素イオンなど）がプロセス中に排出され、ポンプ内に侵入する可能性があることです。これらのイオンは反応性が非常に高く、環境や人の健康にとって有害です。
酸素イオンとフッ素イオンは、ポンプの素材に大きな影響を与える可能性があります。オイルやシールが酸化、分解、劣化する可能性があります。そのため、ポンプを適切に使用するには、適切なオイルおよびシールの素材を選択することが不可欠です。
真空プラズマ処理に適したポンプのタイプ
さまざまなタイプの真空ポンプを使用できます。真空ポンプおよびシステムの適切な選択により、プラズマ処理技術のさまざまなガス放出を確実に処理でき、トラブルのない運転と最大の稼働時間を実現して所有コストを最適化できます。
ライボルトには豊富な経験があり、当社の製品は、さまざまなプラズマ処理プロセスで十分に実証されています。ライボルトは、各プラズマ処理プロセスにおいて、お客様の要件に最適な真空ソリューションを提供できます。
以下のプラズマ処理用の製品をご確認いただくか、プロジェクトについてお問い合わせください。
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
オイルシール2段式ベーンポンプは、低い到達圧力を実現することで、高い真空性能を発揮します。BCS-PFPEバージョンは、反応性の高いプラズマアプリケーションに最適です。
RUVAC
RUVAC
WA（U）、WS（U）、WH（U）の3つの異なるシリーズと、251～9800 m³/hの幅広い排気速度範囲。オプションの周波数変換器による運転により、正確なプロセス制御が可能です。WS(U)-PFPEおよびWH-PFPEバージョンは、反応性の高いプラズマアプリケーションで使用可能
VARODRY
VARODRY
吸気口速度65～200 m³/h、完全オイルフリー、空冷式ドライスクリューポンプで、所有コストを最適化します。VARODRY HD O2バージョンは、O2プラズマ処理に最適です。
DURADRY
DURADRY
160または250 m³/hの排気速度の水冷式ドライスクリューポンプ。クラス最高の低ノイズレベル、コンパクトな設計、密閉性。安定した熱管理により、優れたアルゴンおよび軽ガス処理が可能になります。ほぼすべてのプラズマ処理プロセスをサポートする最高の堅牢性を備えています。
DRYVAC
DRYVAC
コンパクトで密閉性が高く、実証済みの設計で、最高の堅牢性とエネルギー効率を実現。プラズマ処理プロセスで、信頼性の高い性能と稼働時間の向上を実現し、吸気口速度は、200～800 m³/hです。
TRIVAC B
オイルシール2段式ベーンポンプは、低い到達圧力を実現することで、高い真空性能を発揮します。BCS-PFPEバージョンは、反応性の高いプラズマアプリケーションに最適です。
RUVAC
WA（U）、WS（U）、WH（U）の3つの異なるシリーズと、251～9800 m³/hの幅広い排気速度範囲。オプションの周波数変換器による運転により、正確なプロセス制御が可能です。WS(U)-PFPEおよびWH-PFPEバージョンは、反応性の高いプラズマアプリケーションで使用可能
VARODRY
吸気口速度65～200 m³/h、完全オイルフリー、空冷式ドライスクリューポンプで、所有コストを最適化します。VARODRY HD O2バージョンは、O2プラズマ処理に最適です。
DURADRY
160または250 m³/hの排気速度の水冷式ドライスクリューポンプ。クラス最高の低ノイズレベル、コンパクトな設計、密閉性。安定した熱管理により、優れたアルゴンおよび軽ガス処理が可能になります。ほぼすべてのプラズマ処理プロセスをサポートする最高の堅牢性を備えています。
DRYVAC
コンパクトで密閉性が高く、実証済みの設計で、最高の堅牢性とエネルギー効率を実現。プラズマ処理プロセスで、信頼性の高い性能と稼働時間の向上を実現し、吸気口速度は、200～800 m³/hです。
- 関連アプリケーション
- 関連製品
関連アプリケーション
