TURBOVAC MAG – 磁気浮上式ターボポンプ
メンテナンスフリーの磁気浮上式ターボ分子ポンプ
コンパクトで汎用性が高く、クリーンで、振動を最小限に抑えます
繊細なアプリケーション向けにオーダーメイド
- コーティングアプリケーション：ガラスレンズ、医療機器の製造から、航空宇宙部品、ソーラーパネルのコーティングまで。
- 科学研究：クリーンで振動のない動作により、TURBOVAC MAGシリーズは、質量分析計や電子顕微鏡などの繊細な研究プロセスで人気のある選択肢となっています。
- 産業用途：この分野では、生産レベルを維持するために、信頼性と堅牢な性能が重要です。TURBOVAC MAGポンプの高レベルな製造基準に加えて、摩耗の低減により、このような用途に最適です。
TURBOVAC MAG 2807 iSおよび3207 iS
3000 l/sの排気クラスで最もコンパクトな磁気ターボポンプ
TURBOVAC MAG iSポンプでは、ステーターとローターブレードは、オイル潤滑ベアリングシステムではなく電磁石によって浮上し、所定位置に保持されます。これには、次のような利点があります。
摩耗を最小限に抑え、メンテナンス間隔を短縮し、オイルや潤滑ベアリングカートリッジの交換が不要
騒音と振動のレベルを大幅に低減します。そのため、クリーンでドライの炭化水素を含まない真空を必要とする繊細なアプリケーションに最適
最大3,200 l/sの排気速度で、優れた性能を発揮
しかし、TURBOVAC MAG iSシリーズが他より優れているのは、その汎用性です。重量は60 kg未満で、3,000 l/sクラスで最も軽量かつコンパクトなポンプで、あらゆる方向に取り付けることができます。そのため、スペースが限られている環境や柔軟な配置が必要な環境に最適な選択肢となります。
TURBOVAC MAG 2807 iS
TURBOVAC MAGiNTEGRA
正確性、精度、信頼性
TURBOVAC MAGiNTEGRAは磁気浮上式ポンプで、分析、環境、研究、および困難な工業用コーティングアプリケーションに適した、強力でコンパクトな製品ラインです。
- 排気速度とガススループットが高いため、ポンプのダウンタイムが短縮され、機器のサイクルタイムが改善します。
- 5軸アクティブ磁気ベアリングと駆動システムにより、高い信頼性と安全で効率的な運転を実現します。
- 完全に統合されたコンバーターと電源：従来のラックマウント型コントローラーと相互接続ケーブルが不要になりました。
安全上の理由から、電源が切断された場合、ドライブシステムは、発電機モードに切り替わり、低速減速によってローターが浮上したままになります。電源が戻ると、ポンプは、自動的に通常速度まで加速し始めます。
TURBOVAC MAGiNTEGRAは、保護等級IP 54であり、過酷な産業用途環境での使用に最適なポンプです。
これらの磁気ターボポンプは、10-1 mbar（ 0.75 x 10-1Torr ）～10-10 mbar（0.75 x 10-10 Torr）の圧力範囲で使用されます。空気の排気速度は、300 l/sから2,200 l/sまでさまざまです。
TURBOVAC MAGiNTEGRAポンプは、主に以下を必要とするエリアに設置されます。
- 運転時に騒音や振動がないこと
- 炭化水素を含まないこと
- メンテナンスフリーの期間が長いこと
柔軟性
これらの高真空ポンプは、どの方向でも高い性能を発揮し、システムに容易に組み込むことができます。
TURBOVAC MAG Integraは、省スペースのオプションであり、クリーンな高真空および超高真空を生成します。
側面または底部にコントローラーを備えた柔軟な設計と、革新的なモジュラー式の産業用通信ソリューションにより、システムの統合が簡素化されます。
PVD、ディスプレイ、光学、建築用ガラスコーティングなどの標準的な産業アプリケーションに適しています。
信頼性
TURBOVAC MAGiNTEGRAは、すべてのガスに対して高い排気速度と高い圧縮比を実現します。
以下の影響を受けません。
- プロセス粒子やダスト
- ショックベント
これらはクリーンな高真空および超高真空条件を保証する、炭化水素を含まないポンプです。
複合および従来のターボローターステージに加えて、オンボードの周波数変換器および電源が搭載されています。
上記のすべてと、振動値が非常に低いことより、高い信頼性の運転を実現します。
メンテナンスフリー
モニタリング機能と自己保護機能を備え、最大10,000時間のメンテナンスフリーの運転を実現します
