超高真空ポンプ
チタンイオンポンプ、NEGポンプ、TSP
ライボルトは、UHVアプリケーションの装備を可能にするGamma製品を製品ポートフォリオに組み込んでいます。
これにより、超高真空圧を測定できるだけでなく、優れた水素の排気速度や炭化水素フリー、振動フリーの真空など、イオンポンプ特性を利用することができます。
世界中のGamma製品を完全なサプライヤーとしてサポートし、サービスを提供しています。
Gamma Vacuumは、イオンおよびチタンサブリメーションポンプの設計、製造、および販売に加え、NEGポンプとその組み合わせを専門としており、研究開発や高エネルギー物理学など、さまざまな科学アプリケーションに対応しています。
同社は、イオンポンプ、非蒸発性ゲッター（NEG）ポンプ、チタンサブリメーションポンプ（TSP）、およびそれぞれのコントローラーで構成されるあらゆるUHVアプリケーションに対応するソリューションを提供しています。
必要な高電圧または高電流ケーブルを含むすべての装置は、米国シャコピーのGamma Vacuumで製造されています。
Gamma Vacuumは、一体型NEGポンプを備えたイオンポンプなどのポンプの組み合わせも提供します。エレクトロニクス部門は、ポケットに簡単に収まるイオンポンプを操作できるスマートコントローラーから、車体に入りきらないほどの複数のイオンポンプを操作できる強力なコントローラーまで、幅広いコントローラーシリーズを開発および製造しています。
Gamma Vacuumは、既製の製品のほかにも、製品を大幅にカスタマイズしています。
HyTan NEG-イオン複合ポンプ
NEGとイオンポンプ技術を交換可能なモジュール付きのコンパクトなUHVポンプに組み合わせることで、スペースが制限されて汎用性が求められる用途で最適になります。
- 汎用性 – 6種類のNEGと6種類のイオンポンプモジュールから選択でき、100～500 l/sの水素排気速度を実現します。
- カスタマイズ可能 – 交換可能なノーブルおよび従来のダイオードエレメント、2つのイオンポンプ貫通接続オプション、交換可能なモジュールを備えたこのUHVポンプは、さまざまな用途に対応します。
- コンパクト – 従来の製品よりも大幅に小型化されたHyTan NEG-イオンポンプは、チャンバ内に設置してスペース効率を最大限高めることもできます。
- 効率的 - 低電力消費量と交換可能な部品により、UHVポンプの設置面積と総所有コストを削減できます。
HyTan NEG-イオンポンプ
チタンイオンポンプ、NEGポンプ、TSP
超高真空用ポンプシステム
超高真空で最高の到達圧力を実現する、振動がなくメンテナンスフリーのチタンイオンポンプ、チタンサブリメーションポンプ（TSP）、および非蒸発性ゲッター（NEG）ポンプを幅広く取り揃えています。
- 超高真空での高い排気速度
- 炭化水素フリーの真空
- 長い運転時間
- 総合的なソリューション
- 排気速度0.2～1,200 l/s
- 到達圧力< 1 x 10-11 mbar
NEGポンプ
さまざまな要件に対応するさまざまなチタンポンプエレメント：
- 空気および反応性ガスを排気するためのチタンカソードを備えたTiTan CV。
- 空気および反応性ガスを排気する希ガス安定型（チタンおよびタンタルカソード）TiTan DI。
- TiTan TR - 従来の三極管により、高圧範囲でのポンプ速度が向上し、希ガスが安定します。
- 個別に使用するかチタンイオンポンプに内蔵されている、さまざまなNEGポンプおよびTSP。
- TiTan、NEG、TSPのコンポーネントは、450℃まで耐熱性があります。
- さまざまなアクセサリー。
- イオンポンプ操作用DIGITELコントローラーモデル。
- TSPおよびNEGは、さまざまなアプリケーションおよび構成で使用されます。
- コントローラーとイオンポンプを接続するための高真空ケーブルをご用意しています。
TSPフィラメントカートリッジ
DIGITELイオンポンプコントローラー
さまざまなコントローラーを使用して、単一または複数のイオン、NEGまたはTSP真空ポンプを管理できます。
安定した電圧レベル、さまざまな統合プロトコル、使いやすいインターフェースを実現するように設計されたこれらのコントローラーにより、真空ポンプが最高の性能と効率で動作することを保証します。
- DIGITEL SPCe小型ポンプコントローラーは、最大75 l/sのシングルイオンポンプを管理できます。
- DIGITEL QPCクアッドポンプコントローラーは、最大100 l/sのイオンポンプを4台まで管理できます。
- DIGITEL MPCqマルチポンプコントローラーは、最大4個の大型イオンポンプを高電流需要で制御します。
- TSPコントローラーは、最大2台のTSPポンプ（またはx 6つのTSPフィラメント）を管理します。
DIGITEL QPCクワッドポンプコントローラー
DIGITEL MPCqマルチポンプコントローラー
UHV（超高真空）アクセサリー
これらのアクセサリーシリーズは、UHV（超高真空）ポンプに最適です。信頼性が高く、最高の仕様で製造されており、真空システムを最大限活用できるように設計されています。
- 高電圧ケーブル – 幅広い真空用途に適合するように設計されたオーダーメイドで、100%自社製造されています。
- TSPケーブル – 堅牢性、耐久性、信頼性を備えた当社のチタンサブリメーションポンプケーブルは、長期使用を想定して設計されています。
- スプリッターボックス – 電源をイオン/NEGポンプに分割して、同時に操作します。
- TSPシュラウド – 大きなアクティブ面を持つ交換可能なシュラウドで、排気速度を向上させます。
TSPケーブル
高真空、超高真空、極高真空：基礎
当社のEブックをダウンロードして、高真空、超高真空、極高真空の達成と作業に関連する課題と、考慮すべき点を理解しましょう。
