超高真空アプリケーション
UHV条件：政府の研究所、学術機関、民間企業における複雑な研究のほとんどに必要な要件。
国立研究所、大規模な大学、産業はいずれも、必要な真空レベルを達成するために、さまざまな真空機器を使用しています。
これらの組織の多くは、非常に特殊な真空ポンプ、機器、およびシステムに関して当社を頼りにされています。
UHVは、約10-9 mbar（10-7 Pa）未満の圧力を特徴とする真空状態です。
X線光電子分光法（XPS）、オージェ電子分光法（AES）、二次イオン質量分析法（SIMS）、電界放射顕微鏡（FEM）など、多くの表面分析技術で表面汚染を低減するために、超高真空条件が必要とされています。
分子線エピタキシー法（MBE）や原子層堆積（ALD）など、純度に関する厳しい要件がある薄膜の成長や準備に関する技術も、UHV条件に依存しています。
粒子加速器や重力波検出器のような研究アプリケーションでは、超高真空条件は主にビームとガスの相互作用を減らし、外部環境からの望ましくない摂動を制限するのに役立ちます。このような真空レベルでは、特殊な材料とポンプ原理を使用する必要があります。
当社は、意欲的な超高真空アプリケーションに使用される高度な真空ソリューションを幅広く提供しています。当社のコンポーネント、システムソリューション、アフターサービスは、世界中の主要な研究センターでその効果を発揮しています。
当社の利点
- 多段式ルーツポンプ
- スクロールポンプ
- ターボ分子ポンプ（TMP）
- クライオポンプ
- イオンゲッターポンプとコントローラー
- チタンサブリメーションポンプ
- NEGポンプ
- UHVハードウェア、バルブ、継手
多段式ルーツポンプ
- UHVに理想的なバックポンプ
- 低い到達圧力
- 非常に静か（52 db（A）未満）で低振動
- オイルや粒子による汚染がない
- 長期にわたりメンテナンスフリー
スクロールポンプ
- オイルフリー
- 55 db（A）で静か
- お客様が10分間でチップシール交換が可能
- 非常に低い到達圧力
ターボ分子ポンプ（TMP）
- ターボ分子ポンプおよびシステムのフルライン
- 炭化水素フリーの真空発生
- 低い到達圧力
- 軽ガスに対応する高い排気速度
- 低いメンテナンス要件
- プラグアンドプレイのポンプシステム
クライオポンプ
- 高い水蒸気ポンプ能力と低メンテナンス性を実現したCOOLVACクライオポンプ
- クリーンでドライの真空発生
- 液体ヘリウムや液体窒素を使わずに極低温を発生させるCOOLPOWERコールドヘッド
イオンゲッターポンプとコントローラー
- XHV範囲まで炭化水素フリーの動作
- 可動部品や動作音がない
- 振動が一切生じない
- 温度、輻射、磁場に対する高い耐性
チタンサブリメーションポンプ
- UHVシステム内の残留ガス除去に最適
- 反応ガスに対応する非常に高い排気速度
- シンプルで高いコスト効果
NEGポンプ
- H2（UHV/XHVでの主な残留ガス）に対する高い捕集効率
- 振動のない動作
- オイルフリー
UHVハードウェア、バルブ、継手
- 幅広いUHVバルブ、ハードウェア、CFフランジ付き継手
- ガス吸収が少なくリーク率の低い素材
- 高いベーキング温度
- UHVに理想的なバックポンプ
- 低い到達圧力
- 非常に静か（52 db（A）未満）で低振動
- オイルや粒子による汚染がない
- 長期にわたりメンテナンスフリー
- オイルフリー
- 55 db（A）で静か
- お客様が10分間でチップシール交換が可能
- 非常に低い到達圧力
- ターボ分子ポンプおよびシステムのフルライン
- 炭化水素フリーの真空発生
- 低い到達圧力
- 軽ガスに対応する高い排気速度
- 低いメンテナンス要件
- プラグアンドプレイのポンプシステム
- 高い水蒸気ポンプ能力と低メンテナンス性を実現したCOOLVACクライオポンプ
- クリーンでドライの真空発生
- 液体ヘリウムや液体窒素を使わずに極低温を発生させるCOOLPOWERコールドヘッド
- XHV範囲まで炭化水素フリーの動作
- 可動部品や動作音がない
- 振動が一切生じない
- 温度、輻射、磁場に対する高い耐性
- UHVシステム内の残留ガス除去に最適
- 反応ガスに対応する非常に高い排気速度
- シンプルで高いコスト効果
- H2（UHV/XHVでの主な残留ガス）に対する高い捕集効率
- 振動のない動作
- オイルフリー
- 幅広いUHVバルブ、ハードウェア、CFフランジ付き継手
- ガス吸収が少なくリーク率の低い素材
- 高いベーキング温度
高真空、超高真空、極高真空：基礎
当社のEブックをダウンロードして、高真空、超高真空、極高真空の達成と作業に関連する課題と、考慮すべき点を理解しましょう。
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