超高真空幫浦
TiTan 離子幫浦、NEG 幫浦與 TSP
Leybold 將 Gamma 產品併入其產品組合中，為 UHV 應用助一臂之力。
這不僅能讓我們測量超高真空壓力，還能向他們提供離子幫浦的特性並加以利用，例如卓越的氫氣抽速以及無碳氫化合物和無震動的真空。
身為全方位供應商，我們可在全球支援及維修 Gamma 產品。
Gamma Vacuum 專門從事離子和鈦昇華幫浦以及 NEG 幫浦及其組合的設計、製造和經銷，並為各種科學應用領域的客戶 (包括研發和高能物理) 提供服務。
該公司為各種 UHV 應用提供解決方案，包含離子幫浦、非蒸散型吸附 (NEG) 幫浦、鈦昇華幫浦 (TSP) 及其各自的控制器。
所有設備，包括所需的高電壓或高電流纜線，都是由位於美國 Shakopee 市的 Gamma Vacuum 所製造。
Gamma Vacuum 也提供幫浦組合，例如離子幫浦搭配整合式 NEG 幫浦。他們的電子部門負責開發並生產最廣泛的控制器系列，小至可操作離子幫浦並輕鬆放入您口袋的智慧型控制器，大至無法裝入汽車但功能強大可操作數個離子幫浦的控制器。
除了現成產品之外，Gamma Vacuum 還能大幅度客製化其產品。
HyTan NEG 複合式幫浦
將 NEG 和離子幫浦技術相結合，並融入內建可更換模組的小型 UHV 幫浦，非常適合空間有限且有多功能要求的應用。
- 多功能 - 可選擇 6 個 NEG 和 6 個離子幫浦模組，提供 100 - 500 l/s 的氫氣抽氣速度。
- 可自訂 - 此 UHV 幫浦支援多種不同應用，採用可更換式貴金屬和傳統二極管元件、2 個離子幫浦饋通選項及可更換模組。
- 好輕巧 - 相較於舊式產品，HyTan NEG-離子幫浦甚至能安裝在您的腔體內部，以提供最大空間效率。
- 高效率 - 低能耗加上可更換零件，有助於減少 UHV 幫浦的佔用空間及整體持有成本。
HyTan NEG-離子泵浦
TiTan 離子幫浦、NEG 幫浦與 TSP
適用於超高真空的幫浦系統
全系列無震動且免維護的 TiTan 離子幫浦、鈦昇華幫浦 (TSP) 和非蒸散型吸附 (NEG) 幫浦，能在超高真空中達到最佳的極限壓力。
- 超高真空下的高抽氣速度
- 無碳氫化合物真空
- 運作時間長
- 完整的解決方案
- 抽氣速度 0.2 - 1,200 l/s
- 極限壓力 < 1 x 10-11 mbar
NEG 幫浦
各種 TiTan 幫浦元件適用於不同的需求：
- TiTan CV 具鈦陰極，適用於泵送空氣和反應氣體。
- TiTan DI 適用於泵送空氣和反應氣體，具穩定的惰性氣體 (鈦與鉭陰極)。
- TiTan TR - 經典三極管，可在高壓範圍中提供較高泵送速度，具穩定的惰性氣體。
- 各式各樣的 NEG 幫浦和 TSP 可單獨使用，也可整合到 TiTan 離子幫浦。
- TiTan、NEG 和 TSP 組件可耐受烘烤達 450 °C。
- 多種配件。
- DIGITEL 控制器機型，適用於操作離子幫浦。
- 適合各種不同應用與配置的 TSP 和 NEG。
- 提供高真空纜線，可用於連接控制器和離子幫浦。
TSP 燈絲匣
DIGITEL 離子幫浦控制器
使用多種控制器來管理單一或多個離子、NEG 或 TSP 真空幫浦。
這些控制器的設計可確保穩定的電壓等級，搭配多種整合協定以及容易使用的介面，確保您的真空幫浦能以其最佳效能與效率運作。
- DIGITEL SPCe 小型幫浦控制器可管理單一離子幫浦，速度最高達 75 l/s。
- DIGITEL QPC 四幫浦控制器可管理最多達 4 個離子幫浦，速度最高達 100 l/s。
- DIGITEL MPCq 多幫浦控制器可控制最多達 4 個具有高電流需求的大型離子幫浦。
- TSP 控制器可管理最多 2 個 TSP 幫浦 (或 6 條 TSP 燈絲)
DIGITEL QPC 四幫浦控制器
DIGITEL MPCq 多幫浦控制器
UHV (超高真空) 配件
這些配件系列是您 UHV (超高真空) 幫浦的最佳選擇。可靠且符合最高規格，經過精心設計，確保您能充分發揮真空系統的效能。
- 高電壓纜線 – 專為配合各種真空應用而打造，100% 內部製造。
- TSP 纜線 – 堅固耐用且可靠的鈦昇華幫浦電纜，經專門設計可持久耐用。
- 分離器 – 將電源分給離子/NEG幫浦，以便同時操作。
- TSP 護罩 – 可替換式護罩具備大型活性表面，加快抽氣速度。
TSP 纜線
高真空、超高真空和極高真空：基礎概念
下載我們的電子書，瞭解實現及使用高真空、超高真空或極高真空的相關挑戰，以及需要考量的事項。
