Anwendungen mit Ultrahochvakuum
Ein Ultrahochvakuum bildet die Voraussetzung für hochkomplexe Forschungsarbeiten in staatlichen Laboren, Universitäten und der Privatwirtschaft.
Staatliche Labore, große Universitäten und die Industrie setzen eine breite Palette an Vakuumgeräten an, um die erforderlichen Vakuumwerte zu erreichen.
Viele dieser Organisationen vertrauen auf unsere hochspezifischen Vakuumpumpen, -geräte und -systeme.
Unter UHV versteht man ein Vakuum, das durch Drücke von weniger als 10−9 mbar (10-7 Pa) gekennzeichnet ist.
Ultrahochvakuum-Bedingungen sind erforderlich, um die Oberflächenkontamination bei vielen Oberflächenanalysetechniken zu reduzieren. Zum Beispiel Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS), Auger-Elektronenspektroskopie (AES), Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) oder Feldelektronenmikroskopie (FEM).
Auch bei der Bildung und Vorbereitung von Dünnfilmen mit strengen Reinheitsanforderungen, z. B. Molekularstrahlepitaxie (MBE) oder Atomlagenabscheidung (ALD), ist man auf ein UHV angewiesen.
In der Forschung (z. B. bei Partikelbeschleunigern oder Gravitationswellendetektoren) trägt das Ultrahochvakuum dazu bei, die Wechselwirkungen zwischen den Strahlgasen zu reduzieren und unerwünschte Störeinflüsse aus der Umgebung zu begrenzen. Diese Vakuumhöhen erfordern spezielle Materialien und Pumpverfahren.
Wir bieten eine breite Palette an fortschrittlichen Vakuumlösungen für den Einsatz in anspruchsvollen UHV-Anwendungen. Unsere Komponenten, Systemlösungen und Serviceleistungen haben sich in großen Forschungszentren weltweit als vorteilhaft erwiesen.
Unsere Vorteile
- Mehrstufige Rootspumpen
- Scrollpumpen
- Turbomolekularpumpen (TMP)
- Kryopumpen
- Ionen-Getterpumpen und Steuerungen
- Titan-Sublimationspumpen
- NEG-Pumpen
- UHV-Hardware, Ventile, Anschlüsse
Mehrstufige Rootspumpen
- Ideale Vorpumpe für UHV
- Niedriger Enddruck
- Sehr leise mit <52 dB(A), vibrationsarm
- Keine Verunreinigung durch Öl oder Partikel
- Viele Jahre wartungsfrei
Scrollpumpen
- Ölfrei
- Leise mit 55 dB(A)
- Wechsel der Spitzendichtungen durch den Kunden in 10 Min.
- Sehr niedriger Enddruck
Turbomolekularpumpen (TMP)
- Umfassendes Sortiment an Turbomolekularpumpen und -systemen
- Kohlenwasserstofffreie Vakuumerzeugung
- Niedriger Enddruck
- Hohe Förderleistung für leichte Gase
- Geringer Wartungsaufwand
- Plug-and-Go-Pumpensysteme
Kryopumpen
- COOLVAC-Kryopumpen mit hoher Wasserdampfförderleistung und geringem Wartungsbedarf
- Erzeugung von Rein- und Trockenvakuum
- COOLPOWER-Kaltköpfe für die Erzeugung kryogener Temperaturen ohne flüssiges Helium oder flüssigen Stickstoff
Ionen-Getterpumpen und Steuerungen
- Kohlenwasserstofffreier Betrieb im XHV-Bereich
- Keine beweglichen Teile, keine Betriebsgeräusche
- Absolut vibrationsfrei
- Hohe Toleranz gegenüber Temperatur, Strahlung und Magnetfeldern
Titan-Sublimationspumpen
- Ideal zum Entfernen von Restgasen in UHV-Systemen
- Sehr hohe Förderleistung bei reaktiven Gasen
- Einfach und kostengünstig
NEG-Pumpen
- Hohe Abscheideeffizienz bei H2 (häufigstes Restgas bei UHV/XHV)
- Vibrationsfreier Betrieb
- Ölfrei
UHV-Hardware, Ventile, Anschlüsse
- Große Auswahl an UHV-Ventilen, Hardware und Anschlüssen mit CF-Flansch
- Werkstoffe mit geringer Gasresorption und niedriger Leckrate
- Hohe Einbrenntemperatur
- Ideale Vorpumpe für UHV
- Niedriger Enddruck
- Sehr leise mit <52 dB(A), vibrationsarm
- Keine Verunreinigung durch Öl oder Partikel
- Viele Jahre wartungsfrei
- Ölfrei
- Leise mit 55 dB(A)
- Wechsel der Spitzendichtungen durch den Kunden in 10 Min.
- Sehr niedriger Enddruck
- Umfassendes Sortiment an Turbomolekularpumpen und -systemen
- Kohlenwasserstofffreie Vakuumerzeugung
- Niedriger Enddruck
- Hohe Förderleistung für leichte Gase
- Geringer Wartungsaufwand
- Plug-and-Go-Pumpensysteme
- COOLVAC-Kryopumpen mit hoher Wasserdampfförderleistung und geringem Wartungsbedarf
- Erzeugung von Rein- und Trockenvakuum
- COOLPOWER-Kaltköpfe für die Erzeugung kryogener Temperaturen ohne flüssiges Helium oder flüssigen Stickstoff
- Kohlenwasserstofffreier Betrieb im XHV-Bereich
- Keine beweglichen Teile, keine Betriebsgeräusche
- Absolut vibrationsfrei
- Hohe Toleranz gegenüber Temperatur, Strahlung und Magnetfeldern
- Ideal zum Entfernen von Restgasen in UHV-Systemen
- Sehr hohe Förderleistung bei reaktiven Gasen
- Einfach und kostengünstig
- Hohe Abscheideeffizienz bei H2 (häufigstes Restgas bei UHV/XHV)
- Vibrationsfreier Betrieb
- Ölfrei
- Große Auswahl an UHV-Ventilen, Hardware und Anschlüssen mit CF-Flansch
- Werkstoffe mit geringer Gasresorption und niedriger Leckrate
- Hohe Einbrenntemperatur
Hochvakuum, Ultrahochvakuum und extremes Hochvakuum – die Grundlagen
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