UHV applications - XXL telescope

超高真空アプリケーション

UHV条件:政府の研究所、学術機関、民間企業における複雑な研究のほとんどに必要な要件。

国立研究所、大規模な大学、産業はいずれも、必要な真空レベルを達成するために、さまざまな真空機器を使用しています。

これらの組織の多くは、非常に特殊な真空ポンプ、機器、およびシステムに関して当社を頼りにされています。

UHVは、約10-9 mbar(10-7 Pa)未満の圧力を特徴とする真空状態です。

X線光電子分光法(XPS)、オージェ電子分光法(AES)、二次イオン質量分析法(SIMS)、電界放射顕微鏡(FEM)など、多くの表面分析技術で表面汚染を低減するために、超高真空条件が必要とされています。

分子線エピタキシー法(MBE)や原子層堆積(ALD)など、純度に関する厳しい要件がある薄膜の成長や準備に関する技術も、UHV条件に依存しています。

粒子加速器や重力波検出器のような研究アプリケーションでは、超高真空条件は主にビームとガスの相互作用を減らし、外部環境からの望ましくない摂動を制限するのに役立ちます。このような真空レベルでは、特殊な材料とポンプ原理を使用する必要があります。

当社は、意欲的な超高真空アプリケーションに使用される高度な真空ソリューションを幅広く提供しています。当社のコンポーネント、システムソリューション、アフターサービスは、世界中の主要な研究センターでその効果を発揮しています。

当社の利点

多段式ルーツポンプ
  • UHVに理想的なバックポンプ
  • 低い到達圧力
  • 非常に静か(52 db(A)未満)で低振動
  • オイルや粒子による汚染がない
  • 長期にわたりメンテナンスフリー
スクロールポンプ
  • オイルフリー
  • 55 db(A)で静か
  • お客様が10分間でチップシール交換が可能
  • 非常に低い到達圧力
ターボ分子ポンプ(TMP)
  • ターボ分子ポンプおよびシステムのフルライン
  • 炭化水素フリーの真空発生
  • 低い到達圧力
  • 軽ガスに対応する高い排気速度
  • 低いメンテナンス要件
  • プラグアンドプレイのポンプシステム
クライオポンプ
  • 高い水蒸気ポンプ能力と低メンテナンス性を実現したCOOLVACクライオポンプ
  • クリーンでドライの真空発生
  • 液体ヘリウムや液体窒素を使わずに極低温を発生させるCOOLPOWERコールドヘッド
イオンゲッターポンプとコントローラー
  • XHV範囲まで炭化水素フリーの動作
  • 可動部品や動作音がない
  • 振動が一切生じない
  • 温度、輻射、磁場に対する高い耐性
チタンサブリメーションポンプ
  • UHVシステム内の残留ガス除去に最適
  • 反応ガスに対応する非常に高い排気速度
  • シンプルで高いコスト効果
NEGポンプ
  • H2(UHV/XHVでの主な残留ガス)に対する高い捕集効率
  • 振動のない動作
  • オイルフリー
UHVハードウェア、バルブ、継手
  • 幅広いUHVバルブ、ハードウェア、CFフランジ付き継手
  • ガス吸収が少なくリーク率の低い素材
  • 高いベーキング温度
多段式ルーツポンプ
スクロールポンプ
ターボ分子ポンプ(TMP)
クライオポンプ
イオンゲッターポンプとコントローラー
チタンサブリメーションポンプ
NEGポンプ
UHVハードウェア、バルブ、継手
  • UHVに理想的なバックポンプ
  • 低い到達圧力
  • 非常に静か(52 db(A)未満)で低振動
  • オイルや粒子による汚染がない
  • 長期にわたりメンテナンスフリー

高真空、超高真空、極高真空:基礎

当社のEブックをダウンロードして、高真空、超高真空、極高真空の達成と作業に関連する課題と、考慮すべき点を理解しましょう。

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