噴灑與嗅探技術如何用於局部洩漏測試
使用真空測漏儀的洩漏偵測技術
真空方法 - 噴灑技術
連接至真空測漏儀的測試物體以適當的慢速在疑似的洩漏點 (法蘭連接、焊縫等) 用噴槍以非常細的測試氣流追蹤。此程序的適當速度由系統的回應時間決定。必須調整噴灑的測試氣體量,以符合要偵測的洩漏率,以及受測物體的大小和可存取性。
雖然測試氣體 (氫氣、氦氣) 比空氣輕,因此會堆積在房間天花板下方,但由於房間內的移動所產生的氣流和擾動予以良好地散佈,因此不需要假設在搜尋洩漏時,主要 (或僅會) 在房間頂部發現測試氣體。儘管如此,也建議您在處理特別是較大的元件時,從頂端開始搜尋洩漏。
為避免在噴槍開啟時發生測試氣體浪湧,建議安裝阻氣閥,以直接調整噴槍之前或之後的測試氣流 (請參閱以下的圖 17)。設定所需測試氣流最簡單的方式是將噴槍浸入水/酒精容器中,並根據上升的測試氣泡判斷設定。水可能會阻塞噴槍。另外也可以使用裝滿酒精的容器。
使用氦氣測漏儀,也很容易偵測空氣中的自然氦氣量。
空氣中的自然氦氣量為 5·10–4 體積百分比 ( = 5 ppm)。如果空氣經由非常大的洩漏進入測試物體,則測漏儀將會偵測到流過洩漏點的氦氣。洩漏率為:
顯示 (來自噴槍的氦氣) / 100 %
= 顯示 (來自空氣中的氦氣) / 5·10-4 %
或
顯示 (來自噴槍的氦氣) =1/(5 · 10-6) · 顯示 (來自空氣中的氦氣)
= 2 · 105 · 顯示 (來自空氣中的氦氣)
透過噴槍尖端的節流閥開啟噴槍閥時,避免"氦氣浪湧"。
正確顯示的最小氦氣流量:節流閥設定的變更不得影響指示。
檢查氦氣流量最簡單的方式:用一杯水/酒精進行氣泡測試
正壓法 - 嗅探技術
在此方法中,將測試物體填滿測試氣體,一直到測試物體中的部分測試氣體壓力顯著大於測試物體周圍壓力的程度。如有可能,應在用測試氣體填滿測試物體之前先排空測試物體。
測試物體的可能洩漏位置會以適當緩慢的速度以嗅探尖端追蹤。典型的追蹤速度為 1 cm/s。
嗅探尖端透過長細線 (長度 ⋍1 m,直徑 ⋍1 mm) 連接到粗真空幫浦。
進入嗅探尖端的測試氣體會由粗真空幫浦輸送至測漏儀,然後在該處由質譜分析偵測。Leybold 的真空測漏儀能夠「嗅探」氦氣或氫氣。
方法的靈敏度和洩漏位置的準確性取決於:
a) 所使用的嗅探裝置類型 (嗅探尖端 + 線),
b) 所使用的測漏儀回應時間,
c) 追蹤速度
且
d) 嗅探尖端距離測試物體表面的距離。
在此扮演一些角色的許多參數,讓您更難定量判斷洩漏率。使用嗅探程序,可以偵測超過 1·10–7 mbar·l/s 的洩漏率。氦氣偵測靈敏度的限制主要歸因於空氣中的自然氦氣量。對於定量測量,測漏儀和嗅探裝置必須一起校正。在此情況下,嗅探尖端與校正洩漏出口的距離也會包含在校正中。
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