如何校正測漏儀
測漏儀校正是指將測漏儀連接至校正洩漏孔 (或測試洩漏孔)，並在該儀器的螢幕上進行調整。
校正洩漏孔在特定溫度和壓力條件下的洩漏率均為已知的確切數值。此洩漏率載明於校正洩漏孔的校正證書，或記錄在校正洩漏孔隨附的標籤上。
在真空操作中，必須區分兩種類型的校正：
- 測漏儀內部校正：此方法使用的是測漏儀常態內建的校正洩漏孔。此「內部校正洩漏孔」僅可用於校正內建校正洩漏孔的測漏儀。
所有 Leybold 測漏儀均配備內部校正洩漏孔。透過自動操作的例行校正程序，每部測漏儀僅需數秒即可完成「內部校正」。 - 測漏儀外部校正：此方法使用測漏儀入口處所安裝的校正洩漏孔。使用此「外部校正洩漏孔」，測漏儀可在短短數分鐘完成校正。
並且，外部校正洩漏孔可用於檢查內部校正洩漏功能是否正常運作。尤其，若須校正整個測漏儀系統或部分流量配置，則應一律使用外部校正洩漏孔。
嗅探裝置或配置通常亦須使用外部校正洩漏孔3進行校正。在此情況下，一方面必須保證來自校正洩漏孔的所有測試氣體皆到達嗅探裝置尖端，另一方面則應確保通過嗅探裝置的氣流不受校正流程的阻礙 (請參閱下方圖 9)。
圖 9：嗅探裝置校正洩漏孔相關校正
使用嗅探技術進行測量時，也要考慮從探針尖端到樣本表面的距離和掃描速度；這些條件皆必須納入校正程序中。在測量氦氣濃度的特殊情況下，可使用空氣中的氦氣含量進行校正，該含量在全球範圍內均為 5 ppm。
校正洩漏孔一般包括氣體供應、具有已定義氣導值的節流閥及閥。配置應符合所需洩漏率。
圖 10：校正洩漏孔組成範例
a - 不含氣體供應的校正洩漏孔
b - 適用於嗅探和真空應用的校正洩漏孔
c - (內部) 毛細管校正洩漏孔
d - 滲透校正洩漏孔 (又稱為「擴散校正洩漏孔」)
e - 冷媒校正洩漏孔
上圖顯示不同的氦氣校正洩漏孔。
滲透洩漏孔通常用於洩漏率為 10–10 至 10–7 mbar·l/s 的情況。毛細管類型則通常用於 10–7 至 10–4 mbar·l/s 之間的洩漏率，以及 10 至 1000 mbar·l/s 範圍內非常大的洩漏率、具有精確定義氣導值 (尺寸) 的管節或孔板。
由於冷媒在室溫下是液體，而且其蒸氣壓力通常介於 4 巴 和 10 巴，因此與冷媒進料搭配使用的校正洩漏孔是一種特殊情況。一項難以解決的技術問題是毛細管堵塞風險。所有冷媒也是油與潤滑脂的絕佳溶劑，因此經常受到嚴重污染，難以使用純冷媒填充校正洩漏。這裡的決定性因素不僅是化學成分，更重要的是溶解粒子，它們會反覆堵塞毛細管。
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