質量分析計によるリークディテクターの検知限界
検知限界、バックグラウンド、オイル内のガス貯蔵（ガスバラスト）、浮動ゼロ点抑制
検知可能な最小リークレートは、検知されるテストガスの自然バックグラウンドレベルによって決まります。
リークディテクターの吸気口が閉じていても、テストガスは質量分析計に入り、電子的手段が適切であればそこで検知されます。
質量分析計で生成されるバックグラウンド信号によって、リークディテクターの検知レベルが決まります。
質量分析計の真空排気に使用される高真空ポンプシステムは、通常、ターボ分子ポンプとオイルシール式ロータリベーンポンプで構成されます。ロータリーベーンポンプ内のオイルは、あらゆる液体と同様に、オイル内に溶解されたガスとオイル外のガスとの間で平衡に達するまで、ガスを溶解する能力を備えています。
ポンプがウォームアップすると、この平衡状態がリークディテクターの検知限界を表します。
ただし、テストガスがリークディテクターに流入するのは、吸気口からだけではありません。テストガスの不適切な取り付けまたは取り扱いにより、テストガスが通気弁やまたはガスバラストバルブを介してリークディテクターの内部に入る可能があります。
これにより、必然的にオイルおよびエラストマーシールのテストガス濃度が高くなり、バックグラウンド信号が増加します。
結論：オイルにテストガスが多いほど、リークディテクターのバックグラウンド信号が高くなります。
最近の一般的なリークディテクターの取り付けの場合（下記の図7）、ガスバラストバルブおよび通気弁は、新鮮な空気に接続されています。リークディテクターの排気口は、可能であれば、リークテストが実施される部屋の外に接続する必要があります。増加したバックグラウンド信号は、
ガスバラストバルブを開き、テストガスのないガス（新鮮な空気）を導入することで再度下げることができます。オイルの中に蓄積されたヘリウムは、いわばフラッシングされます。この影響は、常にポンプ本体内のオイルの一部にのみ影響するため、ポンプのオイル供給全体が数回再循環循環されるまでフラッシングプロセスを続行する必要があります。この時間は、通常20～30分です。
図7：カウンターフローリークディテクターの真空図
いわゆる「ドライリークディテクター」、オイルシール真空ポンプのないリークディテクターの場合、オイル内のガス貯蔵の問題は存在しません。ただし、時間の経過とともにテストガスがこれらのデバイスに蓄積されるため、ドライリークディテクターはテストガスを含まないガスでフラッシュする必要があります。
常にバックグラウンドレベルをモニタリングする手間を省き、リークディテクターの操作を簡素化するために、いわゆるフローティングゼロ点抑制がすべてのライボルトリークディテクターの自動操作コンセプトに組み込まれています。 ここで、
吸気口バルブが閉じた後に測定されたバックグラウンドレベルが保存され、その後バルブが再び開くと、その後の測定から自動的に差し引かれます。比較的高い閾値レベルでのみ、ディスプレイパネルに対応する警告が表示されます。
浮動ゼロ点抑制とは別に、ライボルトのリークディテクターは、手動でゼロ点を調整する機能を備えています。ここでは、特定の時点におけるリークディテクターの表示が「ゼロにリセット」され、その時点からのリークレートの上昇のみが表示されます。これは、ディスプレイの評価を容易にするためにのみ機能しますが、もちろん、精度に影響を与えることはありません。
図8：ゼロ点抑制の例
上記は、ゼロ点抑制を説明するために提供されています：
- 左側のチャート：信号がバックグランドより明らかに大きくなっています。
- 中心のチャート：バックグランドが大幅に上昇しており、信号を識別することはほとんどできません。
- 右側のチャート：バックグランドは電気的に抑制されており、信号を再度明確に識別することができます。
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